专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]精度补偿方法及切片机-CN202210605934.2有效
  • 朱亮;卢嘉彬;朱继锭;邱文杰;许建青;周锋;冯长春;王金荣 - 浙江晶盛机电股份有限公司
  • 2022-05-31 - 2023-10-27 - B28D5/04
  • 本申请涉及一种精度补偿方法及切片机,精度补偿方法包括以下步骤:获取原有的进刀组件在切割硅棒时的轨迹,根据轨迹点的轨迹线,获取进刀组件沿着预设方向的进刀量δY和进刀组件沿着固定轴组件轴向偏移量δZ的对应关系。当进刀组件处于沿着预设方向的不同进刀位置时,对应调节位于固定连接处和轴向定位点之间的固定轴组件的温度,以使固定轴组件通过轴向热变形带动转动切割组件沿着固定轴组件的轴向发生偏移,且转动切割组件沿着固定轴组件的轴向偏移量δX与进刀组件沿着固定轴组件轴向偏移量δZ大小相等且方向相同。本申请提供的精度补偿方法及切片机,提高了进刀组件沿着硅棒轴线方向的移动直线度并减小了硅片的翘曲度。
  • 精度补偿方法切片机
  • [发明专利]并线检测方法、并线检测光学装置及并线检测系统-CN202210268959.8有效
  • 曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;邱文杰;周锋;黄佳辉;冯长春 - 浙江晶盛机电股份有限公司
  • 2022-03-18 - 2023-09-05 - B28D5/00
  • 本发明涉及一种并线检测方法、并线检测光学装置及并线检测系统。一种并线检测方法,包括步骤:将内部具有全反射光线的透光件放置于多根切割线组成的线网的一侧;移动透光件直至与线网相接触;线网使透光件的表面发生受抑制的全反射现象,透光件的表面出现明暗变化;缩小观察范围至透光件表面的亮度增加区域;于亮度增加区域寻找线网的并线处。上述并线检测方法,利用透光件内部发生的全反射现象,线网的多根切割线会对透光件的表面产生不同的压力及不同的接触面积,造成透光件的表面产生受抑制的全反射现象,从而出现明暗变化,于亮度增加区域寻找线网的并线处,有效地缩小了并线检查的检查范围,提升了并线检查的速度和效率。
  • 检测方法光学装置系统
  • [发明专利]磨粒赋能线切割装置及方法-CN202210269018.6有效
  • 曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;邱文杰;周锋;黄佳辉;冯长春 - 浙江晶盛机电股份有限公司
  • 2022-03-18 - 2023-09-05 - B24B27/06
  • 本发明涉及一种磨粒赋能线切割装置及方法。一种磨粒赋能线切割装置,包括:切割线、切割槽、第一增压模块以及空化发生器。其中。切割槽用于容纳砂浆,切割线的切割区域置于砂浆的液面下;切割槽内的砂浆通过回液管路进入第一增压模块后,经过第一进液管路回流至切割槽内;空化发生器设于切割槽中且位于砂浆的液面下用于使砂浆中产生空化现象。上述磨粒赋能线切割装置,使切割槽中的砂浆发生空化现象,砂浆经空化发生器后产生磨粒空化复合射流,空化现象使砂浆液体中产生的微小气泡在切割线与工件接触时产生的溃破对切割过程起到辅助作用,为磨粒赋能,使磨粒加速磨削工件,提升切割效率。
  • 磨粒赋能线切割装置方法
  • [发明专利]晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法-CN202310557146.5有效
  • 邱文杰;苏剑;汪磊;唐华英;黄喆 - 浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶钰新材料有限公司
  • 2023-05-17 - 2023-08-18 - B28D5/04
  • 本申请提供一种晶棒切割系统,包括至少两根切割棍,金刚线缠绕在两根切割棍上,在两根切割棍间组成切割线网,通过切割线网在两根切割棍之间的往复运动实现对晶棒的切割;系统还包括:图像传感单元,用于在切割线网切割晶棒时,获取切割线网中某一处金刚线的形变状况;处理单元,接收图像传感单元获得的金刚线形变状况,当监测到金刚线的形变状况超出预设形变范围时,判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。本申请还提供一种金刚线寿命检测方法,利用本申请实施例提供的晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法,可以在晶棒切割过程中及时发现金刚线发生过度磨损的状况,确保晶棒切割的质量。
  • 切割系统金刚寿命检测方法
  • [发明专利]晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法-CN202310557152.0有效
  • 邱文杰;苏剑;汪磊;唐华英;黄喆 - 浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶钰新材料有限公司
  • 2023-05-17 - 2023-08-11 - B28D5/04
  • 本申请提供一种晶棒切割系统,包括:至少两根切割棍,金刚线缠绕在两根切割棍上,在两根切割棍间组成切割线网;喷淋装置,向切割线网喷淋冷却液;接液槽,接收冷却液;将切割线网划分为至少两个区域,接液槽对应设置有至少两个容纳腔,容纳腔对应接收经过区域的冷却液;各个容纳腔中分别设置有温度传感器;系统还包括处理单元,处理单元接收各个容纳腔中冷却液的温度,当任一容纳腔中冷却液温度超出预设温度范围时,判断切割线网中至少存在部分金刚线发生过度磨损。本申请还提供一种金刚线寿命检测方法,根据本申请提供的晶棒切割系统和金刚线寿命检测方法,可以在晶棒切割过程中及时发现金刚线发生过度磨损的状况。
  • 切割系统金刚寿命检测方法
  • [实用新型]金刚线电镀电流单独控制装置-CN202320261166.3有效
  • 苏剑;邱文杰;俞安洲;郭大伟;汪磊;王涛 - 浙江晶钰新材料有限公司
  • 2023-02-09 - 2023-08-11 - C25D21/12
  • 本实用新型公开了一种金刚线电镀电流单独控制装置,包括:滚动装置,滚动装置包括设置在两端的侧板;转轴,转轴穿设于滚动装置内,并与滚动装置同轴连接;滚动装置包括至少两层绝缘层,相邻两层绝缘层之间设置有导电层,绝缘层和导电层依次交错分布,每个导电层均能够通过导线与外部电源连接;滚动装置还包括导电杆组合,导电杆组合穿设于侧板、绝缘层和导电层,并围绕滚动装置的轴线分布;导电杆组合上分布有至少两个导电圆管,相邻导电圆管之间设置有绝缘环,导电圆管与导电层电连接。通过上述设置,当金刚线绕设在绝缘层上时,相邻绝缘层上的金刚线的电流分布更加均匀,从而保证同一批次金刚线上的镀层一致性,提升了产品质量。
  • 金刚电镀电流单独控制装置
  • [实用新型]容置装置-CN202320194603.4有效
  • 苏剑;邱文杰;俞安洲;郭大伟;黄喆;郑钰春 - 浙江晶钰新材料有限公司
  • 2023-01-31 - 2023-08-08 - C25D21/14
  • 本实用新型公开了一种容置装置,用于金刚石线的在线补加镍饼,容置装置包括:阳极布袋,阳极布袋中设置有镍饼;阳极盖板,阳极盖板盖设于阳极布袋上,阳极盖板上设置有若干个开口;推拉板,推拉板至少部分设置在开口中,推拉板的两端和阳极盖板可拆卸连接;阳极布袋上设置有若干个能够打开或闭合的第一开关机构,推拉板盖设于第一开关机构上。通过上述设置,可以在金刚石线电镀加工的过程中,使操作者通过开口控制第一开关机构的打开,从而实现镍饼的在线补加。
  • 装置

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