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[实用新型]一种微蚀液在线循环再生系统-CN202222304058.8有效
发明人：聂国勇;陈仁华;杨滔;彭君 -专利权人：长沙利洁环保科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种微蚀液在线循环再生系统，包括微蚀缸和电解槽；所述电解槽包括槽体，槽体内设有阳极区、阴极区、阳极循环区、微蚀循环区和阴极循环区；所述电解槽阳极区和阳极循环区通过管道相连，所述微蚀循环区和电解槽阳极区溢流相连，所述微蚀循环区与阳极循环区顶部连通；所述电解槽阴极区与阴极循环区底部通过管路连通，顶部溢流连通；所述微蚀循环区连接过滤机，所述过滤机连接微蚀缸，所述微蚀缸连接废液收集桶，所述废液收集桶连接阳极循环区；所述阳极循环区与阴极循环区之间连接有微蚀液储存桶和再生液储存桶；本实用新型可以将硫酸‑过硫酸钠微蚀液循环再生，再次直接利用，节约成本且稳定性高，做到废水零排放，从而保护环境。
一种微蚀液在线循环再生系统

[发明专利]涂敷处理方法、涂敷处理装置和计算机能够读取的存储介质-CN200880008386.3有效
发明人：吉原孝介;井关智弘;高柳康治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-02-28 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在涂敷工序中，使基板高速旋转，在此状态下从第一喷嘴向基板的中心部喷出抗蚀剂液，在基板上涂敷抗蚀剂液。接着，在平坦化工序中，使基板的旋转减速，使基板以低速旋转，使基板上的抗蚀剂液平坦化。此时，涂敷工序中的第一喷嘴进行的抗蚀剂液的喷出持续进行至平坦化工序的中途，在该平坦化工序中在使抗蚀剂液的喷出结束时，使第一喷嘴移动，使抗蚀剂液的喷出位置从基板的中心部移动。采用本发明，能够在基板面内均匀地涂敷抗蚀剂液。
处理方法装置计算机能够读取存储介质

[发明专利]涂布装置-CN200610143525.6有效
发明人：原田光治;内河喜代司 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2006-11-10 - 公布日： 2007-05-16 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。
装置

[实用新型]处理液供给装置-CN201721148388.5有效
发明人：佐佐卓志;石丸大辅;桥本克也;志手英男;若水信也;木村一彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种能够与装置内的各部分的位置关系、配管、设置条件等无关地利用过滤器适当地去除处理液内的微粒的处理液供给装置。在以往的处理液供给装置中，有时处理液经过过滤器时的液压由于缓冲罐与过滤器的位置关系、两者之间的配管等而不成为期望的液压。本实用新型的抗蚀剂液供给装置对涂布喷嘴供给抗蚀剂液，所述抗蚀剂液供给装置具备：缓冲罐，其暂时贮存从用于贮存抗蚀剂液的抗蚀剂液供给源供给的处理液；过滤器，其设置于涂布喷嘴与缓冲罐之间，用于将抗蚀剂液中的异物去除；以及泵，其将被过滤器去除异物后的抗蚀剂液向涂布喷嘴送出，其中，缓冲罐具有对贮存于该缓冲罐中的抗蚀剂液进行加压搬送的加压搬送功能。
处理供给装置

[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置-CN201520724767.9有效
发明人：丰田裕二;后闲宽彦;中川邦弘 -专利权人：三菱制纸株式会社
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型的课题在于提供一种抗蚀剂层的薄膜化装置，在具备通过浸渍槽中的薄膜化处理液使抗蚀剂层中的成分胶束化的薄膜化处理单元的抗蚀剂层的薄膜化装置中，通过将基板上表面的抗蚀剂层表面的薄膜化处理液的覆盖量分布抑制在最小限度，能够解决抗蚀剂层的薄膜化处理量不均匀的问题。抗蚀剂层的薄膜化装置的特征在于，薄膜化处理单元具有用于向基板下表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的浸渍槽，设有用于通过辊涂敷向基板上表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的涂敷辊。通过上述抗蚀剂层的薄膜化装置能够解决问题。
抗蚀剂层薄膜化装

[发明专利]一种含点蚀金属管道剩余强度的无缝表征模型-CN201310557909.2有效
发明人：龙伟;林思建;田大庆 -专利权人：龙伟;林思建;田大庆
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G01N33/20 文献下载
摘要：本发明针对有限元分析法表征剩余强度时消耗资源过多，精度不高以及美国石油协会API579‑1标准在确定点蚀模态时人为因素影响过大以及表征不符合8种标准点蚀模态的含点蚀金属管道的剩余强度问题，提出一种含点蚀金属管道剩余强度的无缝表征模型，通过该模型，可以根据点蚀面积占有比m和剩余壁厚比Rwt表征介于并包含8中标准点蚀模态下任意点蚀模态下含点金属管道的剩余强度RSF，为评估含点蚀金属管道的安全性提供了新思路新内容。
一种含点蚀金属管道剩余强度无缝表征模型

[发明专利]一种抗氯离子铜面微蚀剂及其制备方法-CN202010232634.5在审
发明人：黄钟扬 -专利权人：黄钟扬
申请日： 2020-03-28 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明涉及金属表面处理剂技术领域，具体涉及一种线路板用的微蚀剂及其制备方法。本发明提供的抗氯离子铜面微蚀剂包括如下A、B液，其中A液组分成分：50%硫酸溶液：20‑200ml/L，50%过氧化氢：20‑200ml/L，自来水：余量；B液组成成分：分散剂：10‑60ml/L，稳定剂：0.4‑4g/L，侧蚀保护剂：100‑300mg/L，50%硫酸：2‑8ml/L，自来水：余量。本发明提供的铜面微蚀剂可以有效控制微蚀速率，对环境友好，不会造成环境污染，还具有较好的粗糙度，并且氯离子达100ppm时仍然具备很好的微蚀效果（上述自来水含Cl‑液可按成分比例制备成浓缩液；（2）本发明提供的微蚀剂，过氧化氢的分解速率低，且根据加入B液的量控制微蚀剂的微蚀速率，提高微蚀效率；（3）本发明提供的微蚀剂可有效抵抗含100ppm的氯离子水质
一种氯离子铜面微蚀剂及其制备方法

[发明专利]金相试样自动擦蚀机-CN201811542017.4在审
发明人：袁野;范绍华;周希 -专利权人：中核建中核燃料元件有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种金相试样自动擦蚀机，它包括进样槽，进样槽内设有进样推杆，进样推杆穿过进样槽并与进样槽外部的进样推杆驱动电机连接，进样槽与擦蚀槽连接，擦蚀槽内安装有擦蚀推杆，擦蚀推杆与设置在擦蚀槽外的擦蚀推杆驱动电机连接，擦蚀槽还与样滑槽连接，样滑槽安装在储样槽内，储样槽上还开有储样槽溢水孔，储样槽还与出样推杆连接，出样推杆与出样推杆驱动电机连接，擦蚀槽上安装有盖板，盖板上安装有擦蚀头，擦蚀头与擦蚀头驱动电机连接，擦蚀头上设置有擦蚀液接口其优点是：使用本装置操作人员无需特别防护，浸蚀液不会对设备、环境和操作人员造成损害。
金相试样自动擦蚀机

[实用新型]金相试样自动擦蚀机-CN201822115961.3有效
发明人：袁野;范绍华;周希 -专利权人：中核建中核燃料元件有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金相试样自动擦蚀机，它包括进样槽，进样槽内设有进样推杆，进样推杆穿过进样槽并与进样槽外部的进样推杆驱动电机连接，进样槽与擦蚀槽连接，擦蚀槽内安装有擦蚀推杆，擦蚀推杆与设置在擦蚀槽外的擦蚀推杆驱动电机连接，擦蚀槽还与样滑槽连接，样滑槽安装在储样槽内，储样槽上还开有储样槽溢水孔，储样槽还与出样推杆连接，出样推杆与出样推杆驱动电机连接，擦蚀槽上安装有盖板，盖板上安装有擦蚀头，擦蚀头与擦蚀头驱动电机连接，擦蚀头上设置有擦蚀液接口其优点是：使用本装置操作人员无需特别防护，浸蚀液不会对设备、环境和操作人员造成损害。
推杆进样槽蚀槽储样槽推杆驱动电机盖板进样金相试样本实用新型滑槽连接驱动电机推杆连接装置操作对设备浸蚀液清洗头液接口溢水孔滑槽防护穿过外部损害

[发明专利]镀覆方法和镀覆装置-CN201810296363.2在审
发明人：藤方淳平;下山正;宫本龙;石本健太郎 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明提供镀覆方法和镀覆装置，抑制由于在抗蚀剂开口部中存在的气泡和抗蚀剂残渣所引起的镀覆不良的产生。提供对具有抗蚀剂开口部的基板进行镀覆的镀覆方法。该镀覆方法具有如下的工序：抗蚀剂残渣去除工序，对基板的形成有抗蚀剂开口部的面喷射第一处理液而去除基板的抗蚀剂开口内的抗蚀剂残渣；填充工序，使经过了去除工序的基板浸渍在第二处理液中而在基板的抗蚀剂开口部内填充第二处理液
镀覆抗蚀剂开口基板抗蚀剂残渣去除镀覆装置处理液填充浸渍处理液中镀覆工序液体填充对基板喷射

[发明专利]抗蚀图案的形成方法及显影液-CN201080019592.1有效
发明人：东野诚司;近重幸 -专利权人：株式会社德山
申请日： 2010-05-20 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明提供一种抗蚀图案的形成方法及抗蚀剂用显影液，所述抗蚀图案的形成方法包括如下工序：抗蚀膜形成工序：在基板上形成含有特定的杯芳烃衍生物的抗蚀膜；潜像形成工序：使所述抗蚀膜选择性地曝光于高能射线、形成图案的潜像；及显影工序：用含有选自由含氟烷基醚以及含氟醇组成的组中的至少一种的含氟溶剂的显影液将没有曝光于高能射线的抗蚀膜的部分除去，由此对所述潜像进行显影；以上述含氟溶剂作为抗蚀剂用显影液。
图案形成方法显影液

[实用新型]一种线路板生产线的微蚀液自动添加装置-CN201721449038.2有效
发明人：金赛勇 -专利权人：安徽万奔电子科技有限公司
申请日： 2017-11-02 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线路板生产线的微蚀液自动添加装置，包括底座、控制箱、微蚀液箱、电解槽和双氧水循环槽，所述底座上端左侧设有控制箱，所述控制箱右侧设有微蚀液箱，所述微蚀液箱内部左侧下端设有挡块，所述挡块上方设有第一接触开关，所述第一接触开关上方设有浮动板，所述浮动板上方连接有连接杆，所述连接杆穿过多个限位环与微蚀液箱外的滑块连接，所述滑块左右两端分别左滑轨和右滑轨连接，所述左滑轨和右滑轨上设有垫块，所述垫块下方中间设有第二接触开关，所述微蚀液箱上端右侧设有加料箱，所述加料箱与微蚀液箱通过第一电控阀连通，本实用新型产品，结构简单，实用性强，能够自动添加微蚀液，生产效率高。
微蚀液接触开关控制箱线路板生产线自动添加装置本实用新型浮动板加料箱连接杆右滑轨左滑轨上端挡块垫块滑块底座双氧水生产效率自动添加电解槽电控阀限位环循环槽下端连通穿过

[发明专利]牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置-CN201810862212.9在审
发明人：徐海;徐秀清;骆宁宁;张光东 -专利权人：南京医科大学附属口腔医院
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： A61C19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置，包括水气隔离组件、酸蚀冲洗组件和集液框，水气隔离组件和酸蚀冲洗组件均采用透明材料制成，顶板与左侧板、前侧板、右侧板、后侧板共同形成操作室，左侧板设有操作用左孔，右侧板设有操作用右孔，操作用左孔与操作用右孔分别连通操作室，操作室内设有酸蚀冲洗组件和集液框，且酸蚀冲洗组件设于集液框的上方，酸蚀冲洗组件包括左支撑板、右支撑板和定位板；本发明能够保证酸蚀彻底，修复体粘结面酸蚀充分，能够保护医护人员的面部，避免在酸蚀过程中被氢氟酸气雾损伤。该种牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置，结构设计合理，操作安全便捷，利于使用。
酸蚀冲洗组件牙齿修复体冲洗装置集液水气隔离操作室右侧板左侧板右孔左孔操作安全透明材料右支撑板左支撑板定位板后侧板前侧板氢氟酸修复体与操作粘结面气雾连通损伤室内医护保证

[实用新型]牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置-CN201821227630.2有效
发明人：徐海;徐秀清;骆宁宁;张光东 -专利权人：南京医科大学附属口腔医院
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： A61C19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置，包括水气隔离组件、酸蚀冲洗组件和集液框，水气隔离组件和酸蚀冲洗组件均采用透明材料制成，顶板与左侧板、前侧板、右侧板、后侧板共同形成操作室，左侧板设有操作用左孔，右侧板设有操作用右孔，操作用左孔与操作用右孔分别连通操作室，操作室内设有酸蚀冲洗组件和集液框，且酸蚀冲洗组件设于集液框的上方，酸蚀冲洗组件包括左支撑板、右支撑板和定位板；本实用新型能够保证酸蚀彻底，修复体粘结面酸蚀充分，能够保护医护人员的面部，避免在酸蚀过程中被氢氟酸气雾损伤。该种牙齿修复体专用酸蚀冲洗装置，结构设计合理，操作安全便捷，利于使用。
酸蚀冲洗组件牙齿修复体冲洗装置集液本实用新型水气隔离操作室右侧板左侧板右孔左孔操作安全透明材料右支撑板左支撑板定位板后侧板前侧板氢氟酸修复体与操作粘结面气雾连通损伤室内医护保证

[发明专利]抗裂抗蚀混凝土和地下多跨拱形混凝土结构及其施工方法-CN202310950454.4在审
发明人：隗合新;薛铖;杨露;何健辉;郭颖 -专利权人：中国建筑第六工程局有限公司;中建六局第一建设有限公司;武汉理工大学
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C04B28/04 文献下载
摘要：施工用混凝土采用高抗裂抗蚀高铁低钙硅酸盐水泥辅以优质矿物掺合料配制，充分发挥高铁低钙硅酸盐水泥低水化热、高抗裂和抗蚀性能的优势，从源头上为地下大体积混凝土结构的抗裂提供了选择，在多跨拱形大体积混凝土结构施工中实现跳仓法，并根据拱形顶板混凝土的厚度、单拱跨度及相邻两个浇筑仓施工缝的设置位置进行仓位划分，弥补异型超长、超宽、超厚大体积混凝土结构跳仓法施工的空白，抗裂抗蚀效果优异，提升了地下多跨拱形大体积混凝土结构整体质量和稳定性，解决了传统后浇带法造成的施工质量难以保证、工期长、成本高的难题。
抗裂抗蚀混凝土地下拱形混凝土结构及其施工方法

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