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- [发明专利]废气净化装置-CN201811209592.2有效
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王玉伟
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伊利诺斯工具制品有限公司
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2018-10-17
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2023-08-08
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B01D53/00
- 本申请公开了一种废气净化装置，用于净化回流焊炉炉膛中的废气中的污染物，包括：壳体，壳体具有冷却容腔；冷却装置，冷却装置设置在冷却容腔内；其中，冷却装置包括横向排列的数个冷却板，冷却板具有用于容纳冷却介质的空腔，每一个冷却板与相邻的冷却板间隔开以形成竖向气体通道，并且与所述壳体形成底部横向气体通道或顶部横向气体通道，底部横向气体通道和顶部横向气体通道在数个冷却板的排列方向上交替地设置；其中，底部横向气体通道和顶部横向气体通道与竖向气体通道流体连通，以形成弯曲的气体冷却通道，并且废气入口与所述气体冷却通道连通。废气进入气体冷却通道后，与冷却板热交换，使得其中的污染物能够冷凝成液体被分离。
- 废气净化装置
- [实用新型]多床炉-CN200720181234.6无效
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埃米尔·洛纳尔迪;帕特里克·胡特马赫;埃德加·克雷默;保罗·托克尔特
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保尔伍斯股份有限公司
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2007-10-31
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2008-10-22
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F27B1/04
- 本实用新型公开了一种多床炉，包括用于其中心炉身(20)和其耙柄(26)的气体冷却系统。该气体冷却系统包括炉身内用于向耙柄供应冷却气体的环形总分配通道(54，54′)和用于排出离开耙柄的冷却气体的中心排气通道(56)。气体冷却系统还包括围绕环形总分配通道并向外由炉身的外壳(50)界定的环形总供应通道(52，52′)。冷却气体入口(44′，44″)连接于该环形总供应通道。环形总供应通道(52，52′)与环形总分配通道(54，54′)之间的冷却气体通路(60′，60″)与冷却气体入口(44′，44″)隔开，以使供应至该冷却气体入口的冷却气体在流经该冷却气体通路进入环形总分配通道(54，54′)前必须穿过多个炉床室(12)流经环形总供应通道(52，52′)。
- 多床炉
- [发明专利]多床炉-CN200880005072.8无效
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埃米尔·洛纳尔迪;帕特里克·胡特马赫;埃德加·克雷默;保罗·托克尔特
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保尔伍斯股份有限公司
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2008-01-31
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2009-12-23
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F27B9/24
- 本发明公开了一种多床炉，包括用于其中心炉身(20)和其把柄(26)的气体冷却系统。该气体冷却系统包括炉身(20)内用于向把柄(26)供应冷却气体的环形总分配通道(54，54′)和用于排出离开把柄(26)的冷却气体的中心排气通道(56)。气体冷却系统还包括围绕环形总分配通道(54，54′)并由炉身的外壳(50)向外界定的环形总供应通道(52，52′)。冷却气体入口(44′，44″)连接于环形总供应通道(52，52′)。环形总供应通道(52，52′)与环形总分配通道(54，54′)之间的冷却气体通路(60′，60″)与冷却气体入口(44′，44″)隔开，以使供应至冷却气体入口(44′，44″)的冷却气体在流经冷却气体通路(60′，60″)进入环形总分配通道(54，54′)前必须穿过多个炉床室(12)流经环形总供应通道(52，52′)。
- 多床炉
- [发明专利]一种进气装置及衬底处理设备-CN202210361686.1在审
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谢振南;郑振宇
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中微半导体设备（上海）股份有限公司
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2022-04-07
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2023-10-24
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C23C16/455
- 本发明提供一种进气装置，用于衬底处理设备，衬底处理设备包含一反应腔，所述进气装置位于反应腔上方，进气装置内部设有冷却流体通道以及分别连通外部多个工艺气体源的多个工艺气体输入管路，进气装置内部开有多个工艺气体输出通道；工艺气体输入管路通过至少一个对应的工艺气体输出通道向反应腔内提供工艺气体；冷却流体通道围绕工艺气体输入管路设置，多个工艺气体输出通道围绕冷却流体通道周向排布，冷却流体通道对工艺气体输入管路和工艺气体输出通道进行控温通过本发明的冷却流体通道可以有效对工艺气体输入管道和工艺气体输出通道进行降温，避免了工艺气体的沉积而产生颗粒污染物，大大提高了晶圆成品率。
- 一种装置衬底处理设备
- [发明专利]洗干一体洗衣机-CN201410698330.2在审
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张玉琳;于复生
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无锡小天鹅股份有限公司
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2014-11-27
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2016-06-22
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D06F25/00
- 洗干一体洗衣机包括：包括：内筒，内筒具有容纳腔，容纳腔具有水气出口；预冷通道，预冷通道的一端与水气出口连通，预冷通道上设有预冷冷却水进口；冷却通道，冷却通道的第一端与预冷通道连通，冷却通道的第二端与容纳腔连通，冷却通道上设有冷却水补给进口，冷却水由冷却通道朝向预冷通道流动；以及风扇。根据本发明的洗干一体洗衣机，通过利用预冷通道对潮湿的气体进行初步预冷，再利用冷却通道对经过初步预冷的气体进行二次冷却，进而可使潮湿的气体内的更多气态水冷凝成液态水，使进入到容纳腔内的气体变得更加干燥，从而减少了气体循环次数
- 一体洗衣机
- [实用新型]一种混合式冷却喷咀-CN201720695846.0有效
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庞彪;万蓉;杨泳涛;肖华送;庞婷
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成都市通用工程技术有限责任公司
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2017-06-15
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2018-03-27
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F23D14/48
- 本实用新型公开了一种混合式冷却喷咀，包括气体通道以及包裹在气体通道外的混合冷却结构，气体通道的一端为进气端，另一端为出气端，且气体通道的出气端设有用于密封气体通道的喷头，喷头上设有若干喷孔；混合冷却结构包括内筒体、外筒体、第一法兰、上环形盖板以及下环形盖板，第一法兰套接于气体通道上并将内筒体的上端密封，内筒体的内壁与气体通道的外壁之间形成第一冷却通道，内筒体上设有至少一个第一入口，外筒体的内壁与内筒体的外壁之间形成第二冷却通道本实用新型采用上述结构，能够确保反应气体混合均匀，同时使处于高温区的喷咀全部得到冷却液体和冷却气体的保护，延长喷咀的使用寿命。
- 一种混合式冷却
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