专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多色散光谱-CN202080032662.0在审
  • Q·沃拉;C·泽姆斯特普;M·沃特森 - MKS技术(贸易用名雪域仪器)
  • 2020-03-25 - 2022-04-26 - G01J3/44
  • 提供了一种多色散光谱仪,其中光谱仪包括光学系统,该光学系统被配置为将来自激励光源的激励信号朝向样品引导,从样品接收光谱信号,并将光谱信号朝向检测器引导。光学系统包括可移动光学组件,该可移动光学组件适于将光谱信号相对于检测器的至少一个传感器移动,并且检测器适于检测多个分立的经移位的光谱信号。还提供了一种从样品获得拉曼光谱的方法。该方法包括:将来自激励光源的激励信号朝向样品引导;从样品接收光谱信号;以及将光谱信号朝向检测器引导,其中,光谱信号相对于检测器的至少一个传感器移动,以提供多个分立的经移位的光谱信号
  • 多色散光
  • [发明专利]光谱信号检测方法、系统及设备-CN200810141923.3有效
  • 陈亚雄;赵晖 - 深圳市紫光平安技术有限公司
  • 2008-08-16 - 2009-07-08 - G07D7/12
  • 本发明涉及探测光电技术领域,提供了一种光谱信号检测方法、系统及设备。所述系统包括对其照射以产生光谱信号的被测材料,还包括基频激光光源、光谱分离单元、光谱锁相探测单元以及数字信号处理和输出单元;所述基频激光光源产生高稳定激光照射到所述被测材料上,激发出光谱信号;所述光谱分离单元压制基频激光,得到有效光谱信号;所述光谱锁相探测单元采用相干累加锁相积分技术对有效光谱信号进行探测,并将光信号转换为电信号;所述数字信号处理和输出单元将电信号转换为数字信号并输出。本发明还提供了一种光谱信号检测方法及设备。采用本发明的光谱信号检测方法、系统及设备,能提高光谱信号检测的性能。
  • 光谱信号检测方法系统设备
  • [发明专利]刻蚀终点检测方法及装置-CN202210204493.5在审
  • 常晓阳;王新河;林晓阳;赵巍胜 - 北京航空航天大学
  • 2022-03-02 - 2022-06-03 - H01J37/32
  • 本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置,该刻蚀终点检测方法包括:根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱信号确定正向光谱积分数据;根据刻蚀脉冲信号的下降沿、光谱仪积分时间和光谱信号确定负向光谱积分数据;根据正向光谱积分数据和负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据;根据目标光谱信号数据检测刻蚀终点。本发明可以有效过滤等离子体脉冲刻蚀中的背景噪声,实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。
  • 刻蚀终点检测方法装置
  • [发明专利]一种光谱检测方法及系统-CN202010294439.5在审
  • 杨琦;许一力 - 杭州谱析光晶半导体科技有限公司
  • 2020-04-15 - 2020-06-30 - G01N21/25
  • 本发明公开了一种光谱检测方法及系统,首先通过小孔光阑对被检测物体表面的散射光进行空间滤波,得到球面波光场信号;接着利用色散元件对球面波光场信号进行分光处理,形成多阶光学信号;进一步将多阶光学信号经成像系统成像,并成像至窄带光谱探测器;之后由窄带光谱探测器对成像结果中无法被有效探测的光谱进行波长转换,形成可接受光谱信号;最后对所形成的可接受光谱信号进行光谱检测,得到光谱检测结果。
  • 一种光谱检测方法系统
  • [发明专利]混合气体浓度检测系统、方法及装置-CN201810310115.9有效
  • 王寅;魏玉宾;刘统玉 - 山东省科学院激光研究所
  • 2018-04-08 - 2021-03-26 - G01N15/06
  • 本发明提供了一种混合气体浓度检测系统、方法及装置,涉及气体检测技术领域。方法包括:基于获取到的电信号得到n+2个初始光谱信号,其包括第一密封参考气室对应的第一初始光谱信号、n个第二密封参考气室对应的n个第二初始光谱信号以及探头气室对应的第三初始光谱信号;基于n个第二初始光谱信号中每个第二初始光谱信号与第一初始光谱信号的比值,得到每个第二密封参考气室内的气体对应的第一吸收光谱以及基于第三初始光谱信号与第一初始光谱信号的比值,得到第二吸收光谱,以获得检测矩阵;基于检测矩阵及预设的载荷矩阵,获得得分矩阵;基于得分矩阵及预设的线性回归模型以实现检测混合气体,更有效。
  • 混合气体浓度检测系统方法装置

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