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[发明专利]移动衬底传送室-CN201980013736.3在审
发明人：丹尼尔·亚瑟·布朗;伦纳德·约翰·沙普利斯;艾伦·肯特·龙尼;克里斯多夫·威廉·布克哈特 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-02-15 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：真空传送模块(VTM)包括机械手，并且被配置为在与衬底处理工具内的所述不同位置相对应的多个不同位置之间移动，以使得所述机械手能访问所述多个处理模块中的相应的处理模块。
移动衬底传送

[发明专利]传送盒清洗室-CN202110521867.1在审
发明人：朴永秀;许东根;李基万 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗室，包括：清洁室，其具有入口门，且容纳被移送的传送盒以进行清洗；干燥室，其具有出口门，且干燥从上述清洁室移送的上述传送盒；开关，其配置在上述清洁室和上述干燥室之间用以进行升降；及室移动部，其将上述传送盒从上述清洁室移送至上述干燥室。
传送清洗

[实用新型]一种分层式垃圾处理设备-CN201721395646.X有效
发明人：李斌 -专利权人：成都恒力达科技有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分层式垃圾处理设备，包括底座、传送室和处理室，所述传送室包括传送室一、传送室二和传送室三，所述处理室包括处理室一、处理室二和处理室三，所述底座上设有支撑柱，所述支撑柱上设有支撑板，所述支撑板上设有固定块，所述传送室三设置在固定块上，所述传送室二设置在传送室三顶部，所述传送室一设置在传送室二顶部，所述处理室一设置在传送室一一侧，所述处理室二设置在传送室二一侧，所述处理室三设置在传送室三一侧，所述传送室一另一侧设有入口一，所述传送室二另一侧设有入口二，所述传送室三另一侧设有入口三，该分层式垃圾处理设备设计新颖，处理效率较高，操作简便，适合大量推广。
传送室垃圾处理设备分层式固定块支撑板支撑柱底座本实用新型处理效率

[发明专利]传送腔室和包括传送腔室的晶片处理模块-CN202310113768.9在审
发明人：朴时贤;章准桓;朴仁煌 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开提供了一种传送腔室，其设置在缓冲单元和工艺腔室之间以传送晶片，缓冲单元提供晶片在被传送之前所停留的空间，工艺腔室中的每个提供执行晶片处理工艺的空间，传送腔室包括：主机器人，用于在缓冲单元和工艺腔室之间或者在工艺腔室之间传送晶片；导轨，连接到主机器人以供主机器人移动；以及框架，限定传送腔室的主机器人和导轨操作的空间，其中，多个封闭件连接到框架以封闭由框架形成的多个开放区域。
传送包括晶片处理模块

[发明专利]一种动物传送装置和动物行为学实验系统-CN202010256792.4有效
发明人：苏俊瀛;杨星;刘清晴;王立平 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： A01K29/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种动物传送装置和动物行为学实验系统，该动物传送装置包括等待室、传送通道、传送室、传感器和控制器，其中，等待室用于放置动物；传送通道包括通道入口和通道出口，等待室对应通道入口设置；传送室设置于传送通道内，可沿传送通道在通道入口和通道出口之间移动，且传送室停留在对应通道入口时，与等待室连通；传感器用于检测传送室中是否有动物；控制器连接传感器和传送室，用于在检测到传送室中有动物时，控制传送室从通道入口移动至通道出口通过上述方式，能够避免人工进行传送室对动物产生影响，并提高动物实验的效率。
一种动物传送装置行为学实验系统

[实用新型]多腔室晶圆处理设备-CN201821265863.1有效
发明人：周亚勇;盖晨光;刘家桦;叶日铨 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种多腔室晶圆处理设备，包括：处理腔室；真空传送腔室，所述真空传送腔室包括两个相互隔离的子传送腔室，每个子传送腔室内均设置有机械手，每个子传送腔室均通过阀门与所述处理腔室连接；至少两个缓冲室，与真空传送腔室连接，所述真空传送腔室的每个子传送腔室至少连接至其中一个缓冲室。上述多腔室晶圆处理设备能够避免晶圆交叉污染，提高设备的产能。
真空传送腔晶圆处理设备传送腔室多腔室处理腔室缓冲室交叉污染有机械手传送腔产能阀门晶圆隔离室内

[发明专利]一种真空传送装置及传送方法-CN202011614898.3在审
发明人：冯琳 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空传送装置，包括前置腔室、入口腔室、传送平台、工艺腔室和出口腔室；其中，所述前置腔室位于所述入口腔室的一侧，所述入口腔室的另一侧连接传送平台，所述传送平台贯穿连接多个工艺腔室，所述传送平台的末端连接出口腔室；所述工艺腔室侧壁设置匣阀；所述传送平台上设置装置晶圆的托架；所述真空传送装置处于真空状态，所述前置腔室用于接收传送装置外侧的晶圆，并将晶圆通过入口腔室传输至传送平台，所述传送平台带动托架及晶圆在各个工艺腔室之间移动，最终通过出口腔室移出真空传送装置。本发明提供的一种真空传送装置及传送方法，可以显著提高晶圆加工环节的晶圆传输效率。
一种真空传送装置方法

[发明专利]晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置-CN202110943242.4在审
发明人：郑分成 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置，晶圆传送装置包括传送腔室、至少一个工艺腔室、第一检测单元和控制单元，传送腔室内设有传送单元；至少一个工艺腔室与传送腔室相连通，且在相连通的位置处设有腔室门；第一检测单元包括第一发射端和第一接收端，第一发射端设置于传送单元和腔室门两者之一，第一发射端设置于传送单元和腔室门两者另一；控制单元用于确定传送单元与腔室门之间的位置信息，并控制传送单元移动，以及控制腔室门打开或关闭本公开通过在传送腔室和工艺腔室之间的腔室门以及传送单元上设置第一检测单元，有效提高晶圆的传送精度、传送效率，降低了晶圆传送过程中的破损率。
传送装置方法控制

[发明专利]传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置-CN202010587593.1在审
发明人：金相吴;宋峻浩;李明振;边熙宰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了传送机器人和具有传送机器人的基板处理装置。基板处理装置包括传送腔室、预真空锁腔室、工艺单元、轨道和传送机器人，其中：传送腔室具有朝向一侧伸长的形状，并且提供基板的移动空间；预真空锁腔室连接到传送腔室，以提供与传送腔室交换工艺前的基板或工艺后的基板的空间；工艺单元连接到传送腔室，以执行针对从传送腔室传递的基板的工艺；轨道设置在传送腔室内，以提供基板的移动路径；以及传送机器人能够以非接触方式沿着轨道移动，并且进入或退出预真空锁腔室以在预真空锁腔室与传送腔室之间交换基板
传送机器人和具有上述机器人处理装置

[发明专利]用于深沟槽内的低温选择性外延的方法及设备-CN201880010056.1有效
发明人：阿布舍克·杜贝;李学斌;华·春;芙洛拉·芳-松·张 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在一个实施方式中，群集工具包括传送腔室、耦接到传送腔室的预清洁腔室、耦接到传送腔室的等离子体清洁腔室、耦接到传送腔室的沉积腔室、耦接到传送腔室的蚀刻腔室及耦接到传送腔室的热处理腔室。
用于深沟低温选择性外延方法设备

[实用新型]玻璃无尘传送室-CN202121198162.2有效
发明人：蒋家东 -专利权人：重庆市渝大节能玻璃有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及防尘室技术领域，公开了一种玻璃无尘传送室。包括无尘室、用于传送玻璃的传送装置和用于升降玻璃的升降装置，无尘室的侧壁设置有进料口、出料口、出入口和检修口；传送装置、升降装置设置在无尘室内部，传送装置的两端分别延伸至进料口、出料口，升降装置位于传送装置下方，传送装置上设置有用于升降装置伸出的升降空隙。
玻璃传送

[实用新型]基板传送装置和基板处理装置-CN201820553227.2有效
发明人：谢伊·阿萨夫;安德鲁·康斯坦特;雅各布·纽曼;查尔斯·卡尔森;威廉·泰勒·韦弗;史蒂芬·希克森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容涉及基板传送装置和基板处理装置。本文提供用于处理基板的方法和装置。在一个实施方式中，装置包括耦接至传送腔室的装载锁定腔室。传送腔室耦接至热处理腔室，并且基板在装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室中的各个之间传送。在其他实施方式中，公开具有装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室的处理平台。本文也描述经由传送腔室的抽空测量装载锁定腔室中的氧浓度的方法。
传送腔室锁定腔室热处理腔室装载基板处理装置基板传送装置耦接方法和装置处理基板处理平台基板抽空测量传送

[实用新型]一种用于铸件缺陷的X射线检测装置-CN201821313970.7有效
发明人：潘书顺 -专利权人：伟杰科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-08-15 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： G01N23/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于铸件缺陷的X射线检测装置，包括隔离室、工作台、机器人控制器、进室传送带、出室传送带以及自动分类拾取机，所述隔离室设有隔离门、进室门、出室门、机器人以及X射线接收平板，所述进室门外侧设有所述进室传送带，所述进室门内侧送检传送带，所述送检传送带的一侧设有型号识别器，所述送检传送带的传送末端设有进室二道门，所述出室门的外侧设有所述出室传送带，所述出室门的内侧设有送出传送带，所述送出传送带的一侧设有标签机，所述送出传送带的始端设有出室二道门，所述出室二道门内侧设有待出台；本实用新型实现全自动检测，检测准确度高，人工安全得到保障。
传送带室门送出传送带送检本实用新型铸件缺陷隔离室机器人控制器全自动检测自动分类准确度标签机隔离门拾取机识别器工作台始端机器人传送检测安全

[发明专利]真空装置及其操作方法-CN202211214777.9在审
发明人：殷立钊;邱钰凌;杨裕隆;林鸿彬 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种真空装置，包括：处理室；传送室，连接至处理室，其中：传送室包括：一个或多个真空端口，自顶向下看，位于传送室内部且邻近传送室的侧壁设置，并且传送室内部的气体通过真空端口排出；和通气端口，自顶向下看，位于传送室内部且邻近传送室的侧壁设置，并且从通气端口供应通气气体，其中，自顶向下看，传送室的中心线通过传送室的几何中心和传送室的侧壁，一个或多个真空端口和通气端口布置为使得从通气端口的至少一个至一个或多个真空端口的气流相对于传送室的中心线线对称，在传送室的中心线上且在邻近传送室的侧壁处设置有至少一个共用通气端口。
真空装置及其操作方法

[实用新型]基板处理装置-CN201720922591.7有效
发明人：谢伊·阿萨夫;安德鲁·康斯坦特;雅各布·纽曼;查尔斯·卡尔森;威廉·泰勒·韦弗;史蒂芬·希克森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：在一个实施方式中，装置包括耦接至传送腔室的装载锁定腔室。传送腔室耦接至热处理腔室，并且基板在装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室中的各个之间传送。在其他实施方式中，公开具有装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室的处理平台。本文也描述经由传送腔室的抽空测量装载锁定腔室中的氧浓度的方法。
处理装置

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