专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]超超临界空冷汽轮机-CN200310107845.2无效
  • 史进渊;孙庆;杨宇;崔琦;范雪飞;危奇;陈洪溪;邓志成;张兆鹤 - 上海发电设备成套设计研究所
  • 2003-10-10 - 2005-04-13 - F01D25/08
  • 本发明涉及一种超超临界空冷汽轮机,适用于缺水地区火力发电厂,一种超超临界空冷汽轮机,由超超临界湿冷汽轮机高压缸、超超临界湿冷汽轮机中压缸和两个低压缸组成,其特点在于,所述的两个低压缸为空冷汽轮机低压缸,超超临界湿冷汽轮机中压缸和空冷汽轮机低压缸之间、两个空冷汽轮机低压缸之间由低压缸轴承座连接,即超超临界空冷汽轮机的高压缸与中压缸同超超临界湿冷汽轮机的高压缸及中压缸结构相同。超超临界空冷汽轮机的两只低压缸从结构上改进使该汽轮机的低压排汽冷却采用空冷,使超超临界空冷汽轮机既具有超超临界湿冷汽轮机的热耗率低,机组热效率高的优点,又具有亚临界空冷汽轮机耗水少,可以应用于缺水地区的优点
  • 临界汽轮机
  • [发明专利]用于处理基板的设备和方法-CN201610792133.6有效
  • 李暎熏;林义相;赵珉晙;李载明 - 细美事有限公司
  • 2016-08-31 - 2020-11-06 - H01L21/67
  • 公开的是一种用于处理基板的方法,其中,超临界流体被供应到装载有基板的腔室中,以处理基板,所述方法包括:供应步骤,将所述超临界流体供应到腔室内直到所述腔室的内部的压力达到预设压力;和所述供应步骤之后的基板处理步骤,在重复将超临界流体供应到腔室内部中以及将超临界流体排出腔室内部之外的过程中执行超临界工艺,其中,在所述供应步骤中供应到腔室的超临界流体的流速是可变的。
  • 用于处理设备方法
  • [发明专利]基板干燥装置-CN202010690139.9在审
  • 申熙镛;李泰京;尹炳文 - 无尽电子有限公司
  • 2020-07-17 - 2021-01-19 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种基板干燥装置,包括:腔室;超临界流体产生和储存单元,其产生并储存待供给至腔室内的超临界流体;和超临界流体供给调节单元,其调节储存在超临界流体产生和储存单元中的、待供给至腔室的超临界流体,其中腔室包括:上壳体;下壳体;基板放置板,在其上布置上面形成了有机溶剂的基板;上供给口,其形成为在下壳体的中心区域中面对基板放置板并提供干燥用超临界流体的供给路径;和集成式供给和排放口,其从下壳体的侧表面延伸至中心区域,形成为在下壳体的中心区域中面对基板放置板,并提供初始加压用超临界流体的供给路径以及使用干燥用超临界流体执行干燥后的、其中干燥用超临界流体中溶解了有机溶剂的混合流体的排放路径。
  • 干燥装置

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