[发明专利]一种增强选择性镀镍层结合力的装置及方法在审
申请号: | 202311216148.4 | 申请日: | 2023-09-20 |
公开(公告)号: | CN116945022A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 王承波;田俊;王荣银 | 申请(专利权)人: | 托伦斯半导体设备启东有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B1/00;B24C1/08;B24C7/00;B24C9/00;B08B3/12;C25D5/44;C25D5/06;C25D5/52;C25D5/48;C25D3/12 |
代理公司: | 江苏易文通知识产权代理有限公司 32512 | 代理人: | 刘颖 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及表面处理技术领域,具体涉及一种增强选择性镀镍层结合力的装置及方法,包括支撑架、传送带、抛光单元、反应单元、遮蔽单元、喷砂单元、清洗单元和镀镍单元,反应单元固定连接在传送带的一端,反应单元的一端与抛光单元固定连接,反应单元另一端固定连接着遮蔽单元;在遮蔽单元的一侧固定连接着喷砂单元;在喷砂单元的一侧固定连接清洗单元;镀镍单元位于遮蔽单元的另一侧,支撑架位于传送带的下表面;抛光单元和反应单元;通过使用喷砂工艺,能够使得镀层均匀有效地覆盖在基材凹槽表面,并且基材不再需要打磨抛光及前处理等繁琐复杂的工艺步骤,流程得到有效优化,大大地提高了生产效率以及产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 增强 选择性 镀镍层 结合 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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