[发明专利]一种圆片边胶去除装置在审
| 申请号： | 202310705675.5 | 申请日： | 2023-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN116794945A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 梁桂荣;梁万国;陈怀熹;冯新凯;陈家颖 | 申请（专利权）人： | 闽都创新实验室 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/67;B29C37/02;G03F7/16;G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所(普通合伙) 35001 | 代理人： | 李晓芬 |
| 地址： | 350108 福建省福州市闽*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种圆片边胶去除装置，涂覆光刻胶的圆片安装在所述圆片固着部件上；所述旋转控制模块用于驱动与其连接的圆片固着部件旋转，使得圆片以其轴线为中心旋转；所述抬升模块用于驱动与其连接的溶剂槽升降，实现圆片固着部件上的圆片边缘相对浸入溶剂槽内的溶剂或脱离；旋转控制模块驱动圆片持续转动，抬升模块升高液槽，使得圆片边缘保持浸入溶剂，持续浸入旋转使得圆片边缘厚胶及其侧壁残胶均可得到溶解去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆片边胶 去除 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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