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[发明专利]一种圆片边胶去除装置-CN202310705675.5在审
发明人：梁桂荣;梁万国;陈怀熹;冯新凯;陈家颖 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆片边胶去除装置，涂覆光刻胶的圆片安装在所述圆片固着部件上；所述旋转控制模块用于驱动与其连接的圆片固着部件旋转，使得圆片以其轴线为中心旋转；所述抬升模块用于驱动与其连接的溶剂槽升降，实现圆片固着部件上的圆片边缘相对浸入溶剂槽内的溶剂或脱离；旋转控制模块驱动圆片持续转动，抬升模块升高液槽，使得圆片边缘保持浸入溶剂，持续浸入旋转使得圆片边缘厚胶及其侧壁残胶均可得到溶解去除。
一种圆片边胶去除装置

[发明专利]浸入式直边边胶去除装置-CN202310705467.5在审
发明人：梁桂荣;梁万国;陈怀熹;冯新凯;陈家颖 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了浸入式直边边胶去除装置，涂覆光刻胶并带有直边的基片安装在所述基片固定臂上；所述视觉识别系统用于采集基片固定臂上基片的轮廓图像，并将采集的基片轮廓图像信息输送给信号处理模块进行计算处理，旋转组件和升降组件根据信号处理模块的计算结果响应相应的动作，使得基片的直边旋转至水平并定量下降浸入溶剂槽内液面；基片各直边厚胶得以溶解去除；自动化程度高，边胶去除尺寸可控程度高，对光刻胶面污染风险小，同时基片侧壁残胶得到同步溶解去除，降低后道工艺操作中侧壁残胶带来的污染风险。
浸入式直边边胶去除装置

[发明专利]一种晶片双面除液部件及其使用方法-CN202310579800.2在审
发明人：梁桂荣;梁万国;陈怀熹;冯新凯;陈家颖 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶片双面除液部件及其使用方法，包括配合使用的除液部件和支撑部件；除液部件包括位于晶片上方的上喷嘴和位于晶片下方的下喷嘴；上喷嘴和下喷嘴的喷口均朝向晶片；上喷嘴通过上气流臂与气源连接，下喷嘴通过下气流臂与气源连接；上气流臂和下气流臂通过连杆连接；支撑部件包括底板和若干垂直设置在底板上方的中空立柱；底板侧面开有真空连接口，真空连接口在底板内部独立的与各中空立柱连通，真空连接口外接真空泵。本发明支撑部件真空吸附固定晶片，清洁气体通过置于晶片上下表面的两喷嘴及其气流臂喷出，在晶片上下表面形成喷射气流，两喷射气流持续作用于晶片上下两表面，从而达到去除两表面残液之目的。
一种晶片双面部件及其使用方法

[发明专利]一种带有闭环波导结构的周期性极化晶体波导器件及激光器-CN201810732310.0有效
发明人：林琦;陈怀熹;林中晞;苏辉;梁万国 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01S3/108 文献下载
摘要：本发明涉及一种带有闭环波导结构的周期性极化晶体波导器件及激光器，其中，周期性极化晶体波导器件包括波导层和衬底，波导层位于衬底表面上；其中，波导层包含闭环波导和耦合波导，耦合波导为开环结构，闭环波导为闭环结构；所述耦合波导和闭环波导相交，或者，所述耦合波导和闭环波导不相交，两者最近边缘间距小于1um。本发明提出的带有闭环波导结构的周期性极化晶体波导器件能够在有限的块状晶体中增加非线性作用长度，从而提高晶体器件的非线性转换效率，此外还能降低出光阈值，压窄线宽，提高转换效率，实现高功率输出，减小激光光源整体结构尺寸，同时能实现波长宽可调谐输出。
一种带有闭环波导结构周期性极化晶体器件激光器

[发明专利]一种脊形波导制作方法-CN202210965193.9在审
发明人： 梁万国;冯新凯 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种脊形波导制作方法，包括以下步骤：将晶片切割成特定尺寸的晶体；晶片为周期极化铌酸锂晶片；在晶体上切割出宽度为W，深度为H的波导；切割后的晶体包括波导和底座；将基底切割成特定尺寸，在基底上切割出宽度大于W，深度大于H的凹槽；胶合基底和晶体，得到脊形波导，胶合时，波导位于凹槽中；对底座进行抛光减薄，形成薄层；对脊形波导的端面进行抛光再镀膜。本发明通过一个凹槽保护脊形波导，然后反面抛光减薄，从而形成薄膜脊形波导。避免了离子注入建和带来的结构损伤等问题。
一种脊形波导制作方法

[发明专利]一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件及其制作方法-CN202210873557.0在审
发明人：冯新凯;梁万国 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2022-07-24 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体公开一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，通过在铌酸锂晶体的一面设置能够进行标记的划痕，通过控制划痕深度来控制抛光程度，达到精密抛薄的效果，从而简化了铌酸锂薄膜的制备过程，具有很强的实用价值。
一种具有梯形衬底 ppln 脊形波导器件及其制作方法

[实用新型]一种光斑自整形激光模组-CN202220577577.9有效
发明人： 梁万国;邓亦斐;冯新凯 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光斑自整形激光模组，包括衬底和设置在衬底上的激光晶体和周期极化铌酸锂晶体；光线由激光晶体的入射面射入，由出射面射出，再由周期极化铌酸锂晶体的入射面射入，由出射面射出，且光线传播方向垂直于周期极化铌酸锂晶体的极化方向；周期极化铌酸锂晶体的入射面和出射面面积不同；盖板覆盖在激光晶体和周期极化铌酸锂晶体的上方和前后侧。周期极化铌酸锂晶体的入射面面积大于出射面面积本实用新型通过周期极化铌酸锂晶体对光斑进行整形，省去透镜，使得激光模组的体积更小，且生产成本更低。同时，周期极化铌酸锂晶体根据需要进行切割，可以实现不同需求的光斑整形，制作难度低，易于批量生产。
一种光斑整形激光模组

[发明专利]一种全画幅单反镜头-CN202110813642.3有效
发明人：古克义;梁万国;张新彬;陈怀熹;冯新凯;李广伟;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种全画幅单反镜头，属于相机镜头技术领域，能够解决现有镜头光圈小、使用非球面玻璃透镜价格高的问题。全画幅单反镜头包括从物体侧至像面侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组、可变光阑、第三透镜组及弯月负透镜，弯月负透镜的凹面朝向第三透镜组；第一透镜组焦距为负，第二透镜组焦距为正，第三透镜组焦距为正；第一透镜组包括弯月非球面透镜及弯月负透镜，弯月负透镜位于弯月非球面透镜与第二透镜组之间，弯月非球面透镜的凹面朝向弯月负透镜的凹面。本发明用于单反镜头。
一种画幅镜头

[发明专利]一种低温极化系统-CN202210460539.X在审
发明人： 梁万国;冯新凯;陈怀熹;张新彬;古克义;李广伟;黄玉宝;邓亦斐 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：本发明涉及一种低温极化系统，包括制冷模块、恒温模块、温度调节模块、反转模块、反转控制模块和高压模块；所述制冷模块与恒温模块相互连通；所述温度调节模块分别与制冷模块以及恒温模块连接；所述反转模块放置于恒温模块中，所述反转模块包括反转夹具和极化电极，极化电极设置于反转夹具内，所述反转夹具用于固定待极化晶体，所述极化电极具有与待极化晶体相匹配的周期性结构；所述高压模块用于向反转模块施加极化电压；所述反转模块、反转控制模块和高压模块两两相互连接，反转控制模块接收来自反转模块中的电荷信号，并根据电荷信号自动判断是否触发高压模块向反转模块的极化电极施加极化电压。
一种低温极化系统

[发明专利]一种光斑自整形激光模组-CN202210259670.X在审
发明人： 梁万国;邓亦斐;冯新凯 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种光斑自整形激光模组，包括衬底和设置在衬底上的激光晶体和周期极化铌酸锂晶体；光线由激光晶体的入射面射入，由出射面射出，再由周期极化铌酸锂晶体的入射面射入，由出射面射出，且光线传播方向垂直于周期极化铌酸锂晶体的极化方向；周期极化铌酸锂晶体的入射面和出射面面积不同；盖板覆盖在激光晶体和周期极化铌酸锂晶体的上方和前后侧。周期极化铌酸锂晶体的入射面面积大于出射面面积本发明通过周期极化铌酸锂晶体对光斑进行整形，省去透镜，使得激光模组的体积更小，且生产成本更低。同时，周期极化铌酸锂晶体根据需要进行切割，可以实现不同需求的光斑整形，制作难度低，易于批量生产。
一种光斑整形激光模组

[发明专利]一种带宽可调谐频率转化器及其控制方法-CN202210402276.7在审
发明人：陈家颖;梁万国 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本申请公开了一种带宽可调谐频率转化器及其控制方法，所述带宽可调谐频率转化器包括锥形的周期极化铌酸锂波导，还包括依次叠加设置衬底、覆盖层、硅胶层、铜层和半导体制冷器，其中所述锥形的周期极化铌酸锂波导位于衬底与覆盖层之间。其核心结构周期极化铌酸锂波导采用锥形结构，首尾通过两个半导体制冷器进行整个波导的控温，可调谐的波长范围覆盖C波段，可将C波段倍频，将有效应用于生物医学研究、环境监测、光学精密测量、材料加工、国防安全等领域。
一种带宽调谐频率转化及其控制方法

[发明专利]软边光阑和制备时使用的镀膜挡板-CN202011084773.4有效
发明人：张新彬;梁万国;陈怀熹;李广伟;冯新凯;古克义;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了软边光阑及其制备方法和制备时使用的镀膜挡板，其中软边光阑包括基片和设置在基片上的膜层；膜层的厚度随基片的半径的增大而逐渐增大或逐渐减小，利用膜层的厚度限定激光透过率。对应的制备方法包括：获取膜层的厚度与基片的半径之间的第一函数关系；根据第一函数关系，在基片的每一半径位置处，镀设对应厚度的膜层。本发明还公开了制备上述软边光阑使用的镀膜挡板。本发明的软边光阑能够避免激光经过光阑产生的“强心效应”，可以广泛用于激光强度调制、激光整形以及激光光强均匀化等方向的装置内。本发明只要在现有镀膜机中安装一个镀膜挡板，即可实现制备本申请的软边光阑，因此，适用性更强，成本也较低。
光阑制备使用镀膜挡板

[发明专利]一种超连续谱激光光源-CN202010187860.6有效
发明人：陈怀熹;梁万国;张新彬;冯新凯;李广伟;古克义;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超连续谱激光光源，属于激光器件技术领域，解决了现有超宽带的超连续谱激光光源的激光输出转化效率较低的问题。所述超连续谱激光光源，包括：激光泵浦源；透镜组，透镜组设置在激光泵浦源的出射光路上，用于对激光泵浦源的出射光线进行准直聚焦；薄膜波导器件，薄膜波导器件设置在透镜组的出射光路上，入射至薄膜波导器件内的光线可在薄膜波导器件内发生非线性效应后射出；薄膜波导器件包括极化晶体，极化晶体为啁啾畴结构。本发明用于产生超连续谱激光。
一种连续谱激光光源

[发明专利]一种激光器真空密封装置-CN202010861574.3有效
发明人：冯新凯;梁万国;陈怀熹;张新彬;李广伟;古克义;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器真空密封装置，属于封装工艺技术领域，能够解决现有封装方法封装难度较大，安全性较差的问题。所述激光器包括壳体，壳体上设置有开孔；所述装置包括：抽真空结构，用于通过开孔对壳体内部进行抽真空；密封结构，用于在壳体内部处于真空状态时，封堵开孔。本发明用于激光器封装。
一种激光器真空密封装置

[发明专利]一种激光透镜镜头和激光投影仪-CN202011579180.5有效
发明人：冯新凯;张新彬;陈怀熹;李广伟;古克义;梁万国;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G02B13/16 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光透镜镜头和激光投影仪。激光透镜镜头包括多个光学元件；所述多个光学元件包括沿激光传播方向依次设置的非球面负透镜、第一双凸正透镜、平凸正透镜、第一双凹负透镜、第二双凹负透镜、第二双凸正透镜、第三双凸正透镜、第四双凸正透镜和等效转像棱镜；其中，所述平凸正透镜与所述第一双凹负透镜胶合在一起；所述第二双凹负透镜与所述第二双凸正透镜胶合在一起。本申请的激光透镜镜头利用光学元件材料的折射率效应补偿光学元件(例如玻璃)与机械件(例如镜筒)的热胀冷缩，实现了无热化效果，保证了系统解像能力以及投影图像的清晰度。
一种激光透镜镜头投影仪

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