[发明专利]MEMS电容式加速度计及其制备方法在审
| 申请号： | 202310532137.0 | 申请日： | 2023-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN116593735A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 李维平;皇甫丙彬;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法。包括：第一衬底；第一电极层和支撑层，设置于第一衬底，并且支撑层位于第一电极层外侧；弹性件和弹性件底盘，弹性件的第一端插置于第一电极层与第一衬底抵接，第二端与弹性件底盘抵接；连接层，设置于支撑层和弹性件底盘背离第一衬底的一侧；第二衬底，设置于连接层背离第一衬底的一侧；弹性梁和质量块，设置于第二衬底，质量块与第一电极层相对应，弹性梁位于质量块外侧；第二电极层和绝缘层，绝缘层设置于质量块朝向第一衬底的一侧，第二电极层夹设于绝缘层和连接层之间。能有效防止在加速度过大时弹性梁发生断裂，实现过载保护。有效避免了静电吸合的发生，提高了加速度计的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 电容 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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