[发明专利]一种新型电容式三轴MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202310428297.0 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116643064A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李开富;谭小波;黄斌;李云;武焱林;王瑞;张兴;郭威;邵斌华;蒋婷;杨承;郭小伟;李绍荣 | 申请（专利权）人： | 中铁工程服务有限公司;电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 成都智言知识产权代理有限公司 51282 | 代理人： | 蒋秀清 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型电容式三轴MEMS加速度计，属于微机电系统技术领域，解决现有三轴加速度计因三个轴向分别对应一个质量块使加速度计的集成度较低的问题，其包括玻璃基板和设在玻璃基板上的质量块；所述质量块的四个拐角处设有弹性梁，弹性梁与玻璃基板的锚定区连接；所述质量块设有镂空区，镂空区的中部都设有与质量块固定的安装梁，所述安装梁的左右两侧分别设有Y轴检测活动梳齿，且镂空区内都设有与两个Y轴检测活动梳齿配合的两个Y轴检测固定梳齿，质量块的上下两端分别设有X轴检测活动梳齿，所述基板上设有与X轴检测活动梳齿配合的X轴固定梳齿。本发明加速度计采用作用对称结构，锚点分布均匀，能够降低因较大应力导致的结构形变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 电容 式三轴 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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