[发明专利]声子极化激元增强的平面型阻挡杂质带长波红外探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种声子极化激元增强的平面型阻挡杂质带长波红外探测器及制备方法。器件自下而上依次为衬底，水平排列的接触层、吸收层和阻挡层，声子极化激元增强层以及金属电极；其中，衬底和阻挡层为本征半导体，接触层和吸收层为通过离子注入制备得到的掺杂半导体，声子极化激元增强层为通过沉积法制备得到的具有周期性微纳结构的声子极化激元材料薄膜。本发明的特点是利用微纳结构耦合入射光并激发声子极化激元，通过声子极化激元的限域光场约束效应增强探测器在长波红外波段的光吸收性能，制作工艺简单、灵敏度高的长波红外探测器。