[发明专利]一种合成石英的沉积窑炉及制备方法在审
| 申请号： | 202211034624.6 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115353277A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 李建均;肖华;钟媛;吴龙波;杨金鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏亨芯石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03B20/00;C03B8/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王广浩 |
| 地址： | 215299 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种合成石英的沉积窑炉及制备方法，包括：炉体，炉体内设有腔体，腔体从上至下分为沉积反应区、沉积定型区和沉积稳定区，腔体顶部设有喷灯孔；喷灯，装配在喷灯孔内；喷灯用于向腔体内喷吹四氯化硅、氢气和氧气；充氦通道，用于向沉积反应区通入氦气，通过氦气排除熔融过程中产生的初期未完全封闭的微气泡；充氯通道，用于向沉积定型区通入氯气，通过氯气实现顶层初长料面层的表面脱羟和提纯；抽废烟道，用于在沉积稳定区将沉积反应区和沉积定型区产生的反应废气导出，并给石英砣表面降温至软化点温度以下。本发明合成石英的沉积窑炉可在CVD工艺上实现制备高均匀性、低羟基含量、低金属杂质含量和低气泡缺陷的合成石英产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合成 石英 沉积 制备 方法 | ||
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- 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤提供液体SiO2‑原料，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，将所述SiO2‑原料汽化成原料蒸气，将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒，使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上，形成多孔SiO2灰料体，使所述SiO2灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃。由此开始，为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体，根据本发明建议，该液体原料含有附加组分，包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物，其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量‑ppm。
- 通过由蒸汽相沉积和借助液体硅氧烷原料制造合成石英玻璃的方法-201280057983.1
- H.法比安;J.勒佩尔 - 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
- 2012-11-22 - 2017-02-22 - C03B19/14
- 本发明涉及制造合成石英玻璃的方法，其包括步骤(A)提供液体SiO2原料(105)，其包含多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4，(B)将SiO2原料(105)汽化成气态SiO2原料蒸气(107)，(C)将SiO2原料蒸气(107)转化成SiO2颗粒，(D)使所述SiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成SiO2灰料体(200)，(E)使SiO2灰料体(200)玻璃化，同时形成合成石英玻璃。根据本发明提出，汽化加热的SiO2原料(105)包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在此将SiO2原料(105)雾化成微滴，所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。
- 用于制备合成石英玻璃的方法-201280062054.X
- K-U.巴德克;N.奥托;M.特罗默;H.劳达恩;A.布吕克尔 - 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
- 2012-12-13 - 2016-10-19 - C03B19/14
- 本发明涉及一种用于制备合成石英玻璃的方法，其包括：气化作为液体SiO2原料 (105)的聚烷基硅氧烷，使SiO2原料蒸气(107)转化为SiO2颗粒，沉积所述SiO2颗粒而形成烟灰体(200)，和使烟灰体(200)玻璃化。根据本发明，加热的SiO2原料(105)的气化包括在膨胀室(125)中的喷射阶段，在其中SiO2原料 (105)雾化成为细小的微滴，其中所述微滴具有小于5 µm的平均直径，并且微滴的雾化在预热的载体气体流中进行，所述载体气体流具有超过180℃的温度。
- OH、OD含量低的熔凝氧化硅及其制备方法-201610132512.2
- R·R·赫拉帕孔;N·勒布隆;J·E·廷戈尔 - 康宁股份有限公司
- 2008-07-18 - 2016-05-04 - C03B19/14
- 一种OH、OD含量低的熔凝氧化硅及其制备方法，其中羟基(OH)和氘氧基(OD)的合并浓度小于10ppm，在一个实施方式中小于1ppm。所述熔凝氧化硅制品通过在含一氧化碳的无卤素气氛中干燥烟炱坯体形成。干燥烟炱坯体可任选掺杂，使熔凝氧化硅制品中的OH和OD浓度达到目标水平，并改善均匀性。然后，氧化和烧结所述干燥烟炱坯体，形成制品。本发明还描述了将OH和OD的合并浓度降至小于10ppm的方法。
- 形成低颗粒缺陷玻璃薄片的静电方法和设备-201380026599.X
- D·W·霍托夫;B·A·诺尔;S·维姆利 - 康宁股份有限公司
- 2013-05-20 - 2015-03-25 - C03B19/14
- 使用辊到辊玻璃烟炱沉积和烧结法形成高表面质量的玻璃片。玻璃片的形成包括提供玻璃烟炱颗粒(150)，将第一部分的玻璃烟炱颗粒沉积到沉积表面(122)上以形成支撑烟炱层(152)，用烟炱收集装置(125)将第二部分的玻璃烟炱颗粒静电吸引并收集到带电板的表面上，从沉积表面上去除烟炱层以形成烟炱片(154)，以及对至少部分烟炱片进行加热，以烧结玻璃烟炱颗粒从而形成玻璃片。
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