[发明专利]一种外延工艺石英焊件及其加工方法在审
| 申请号： | 201911331307.9 | 申请日： | 2019-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN110963686A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张忠恕;王连连;赵鹤;陈强;于洋;冯继瑶;张娟;边占宁;孙云涛;李宝军;张连兴;王建立 | 申请（专利权）人： | 张忠恕 |
| 主分类号： | C03B23/207 | 分类号： | C03B23/207;C03C27/00 |
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| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种外延工艺石英焊件及其加工方法，包括第一乳白砣石英、对接孔、第一透明石英、第二透明石英、球头体、石英旋转轴、第二乳白砣石英、托架、硅片，所述第一乳白砣石英上开有对接孔，所述第一透明石英与第一乳白砣石英焊接为一体，所述第一透明石英下端固定连接第二透明石英，所述第二透明石英下固定连接球头体，所述第一透明石英、第二透明石英镶嵌有石英旋转轴，所述第一乳白砣石英呈环形，且位于第一乳白砣石英上端面设有与对接法兰相配合的石英环垫槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 工艺 石英 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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