[发明专利]晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体在审

专利信息
申请号: 202210965244.8 申请日: 2022-08-12
公开(公告)号: CN116936425A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 金相振 申请(专利权)人: 3S韩国株式会社
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 姜长星;李盛泉
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。根据本发明的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体,包括:收纳容器,在内部形成有能够收容一个以上的晶圆的空间;紧固部,形成于所述收纳容器的下部外侧,形成有能够紧固盖的紧固空间;以及盖,形成有在一侧形成为一字型并在端部包括有第一突出部的卡止部,并且构成为所述卡止部紧固于所述紧固部的结构;其中,所述紧固部包括:内壁,与所述盖的外周表面紧贴;以及紧固孔,形成于所述紧固部的一侧,构成为孔形状,以供所述卡止部紧固;其中,所述盖包括:固定壁,形成于与所述卡止部相面对的另一侧,紧贴于所述内壁,使得所述盖固定于所以述紧固部。
搜索关键词: 收纳 容器 用于 组装
【主权项】:
暂无信息
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