[发明专利]一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法在审
| 申请号： | 202210908321.6 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115338897A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王晓尉 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法，涉及半导体制造技术领域，控制设备包括多个光电传感器、主控装置、气体压力控制器和压力调节阀，主控装置用于获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值；将变化值利用正态分析模型进行分析，并将变化值与第一预设值进行比对，得出变化值与第一预设值的偏差值。通过获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值计算得到控制阀调节值，通过气体压力控制器根据控制阀调节值对压力调节阀进行压力调节，以对吸附机构的吸附力进行控制，从而实现自动调节吸附机构的吸附力。由于可以根据不同规格的晶圆自动调节吸附力的大小，从而实现对吸附力的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸附 机械手 吸附力 控制 设备 方法 | ||
【主权项】：
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