[发明专利]一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法有效
| 申请号： | 202210417731.0 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114527630B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;夏贤梦;曹春;沈小明;邱毅伟;关玲玲 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，将异丙醇锆与有机酸反应得到光刻胶单体，将光刻胶单体与光引发剂按比例溶解，旋涂在基板上之后，可在飞秒激光的诱导下在选定的位置发生聚合，显影后形成光刻图案，将所得的图案在空气气氛中高温退火，得到二氧化锆微纳图案，该方法无需掩模版，可以快速简便地制造任意的二氧化锆微纳图案，可用于电路电容和半导体微器件等产品的制造加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 图案 激光 方法 | ||
【主权项】：
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