[发明专利]一种半导体生产加工用定位结构

摘要

本发明公开了一种半导体生产加工用定位结构，涉及半导体加工技术领域。本发明中安装组件内设置有两第一定位组件，定位机构包括第二定位组件和两驱转组件，第二定位组件的二号基座上滑动连接有定位板，定位板表面的连接架固定有两一号磁铁；二号基座上表面对称滑动连接有两磁力推动组件，二号基座上表面对称转动连接有两与磁力推动组件啮合的传动组件；驱转组件与传动组件相啮合。本发明通过驱转组件上的弧形外齿板带动二号齿轮转动，一号齿轮带动齿柱移动，在齿柱上的二号磁铁与一号磁铁的磁性相斥下，推动定位板紧密贴合在半导体两侧，同时在定位弹性件的作用下使得定位球挤压在半导体另外两侧，从而实现半导体各个方向上的定位固定。