[发明专利]一种应用于晶圆减薄抛光的永磁传动式气浮主轴在审
| 申请号： | 202210123909.0 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114571362A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 叶乐志;陈钊;朱林 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于晶圆减薄抛光的永磁传动式气浮主轴，包括主轴电机、永磁联轴器以及气体静压轴承；该主轴将转轴分为两段，采用永磁同步联轴器连接转轴代替传统的一段式转轴，可降低主轴的装配和制造难度；在主轴发生卡死故障时使得主轴电机转轴和气体静压轴承旋转结构脱离，既防止了气体静压轴承发生摩擦划伤，又避免了电机发生堵转而造成烧毁；电机工作时会产生大量热量，电机转轴与轴承旋转结构空间分离设计，降低了气体静压轴承的温升和热变形，提高了工作精度。该主轴采用两个止推轴承前后布置，一个径向轴承内侧布置的形式，使得气体静压轴承旋转结构呈工字形，这种布置方式可使主轴获得较大的承载力和刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 晶圆减薄 抛光 永磁 传动 式气浮 主轴 | ||
【主权项】：
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- 柏木诚 - 株式会社荏原制作所
- 2021-01-07 - 2022-09-16 - B24B41/047
- 本发明关于用于将研磨具推压至晶片等基板的研磨头。此外，本发明关于用于以这样的研磨头研磨基板的研磨装置。研磨头(10)构成为具备：环状的弹性构件(40)，该弹性构件用于相对于基板(W)推压研磨具(3)；及按压具主体(43)，该按压具主体具有经由弹性构件(40)相对于基板(W)推压研磨具(3)的按压面(44)，按压面(44)具有第一嵌合槽(45)，该第一嵌合槽供弹性构件(40)的第一部位(41)嵌合，第一部位(41)从按压面(44)突出，弹性构件(40)在弹性变形的状态下被挂在按压具主体(43)，研磨头(10)通过第一部位(41)，将研磨具(3)推压至基板(W)。
- 一种新型大平磨用磨头体-202221361652.4
- 舒宇;王子成;朱爱民;李吉峰 - 威海丰润机械有限公司
- 2022-06-01 - 2022-09-13 - B24B41/047
- 本发明提供一种新型大平磨用磨头体，包括立柱体、链轮支架和配重组件，立柱体的左侧前端固定设有左压板，立柱体的右侧前端固定设有右压板，立柱体与左压板、右压板半包围形成第一矩形导轨槽和第二矩形导轨槽，第一矩形导轨槽的后边线处与第二矩形导轨槽的前边线处相连通，立柱体与左压板、右压板之间设有磨头滑板，磨头滑板与立柱体与左压板、右压板滑动连接。该装置将现有平V导轨改成双矩形导轨，通过斜铁进行前后、左右方向的精密定位，通过支撑壳体内部的镂空设计，减少了支撑臂组件的自重，并配合配重组件减少了磨头滑板的滑动摩擦阻力，进一步保证磨头体进给的精度，增加了加工的精度。
- 一种用于加工平面靶材的砂轮-202220562726.4
- 刘毅华;余芳;刘佰玲;雷永杰;林昊;裴炜炀 - 先导薄膜材料（广东）有限公司
- 2022-03-13 - 2022-08-02 - B24B41/047
- 本实用新型公开了一种用于加工平面靶材的砂轮，旨在可以完成侧边打磨、斜边打磨和倒圆角多种工序，提高加工平面靶材时的效率，其技术方案：一种用于加工平面靶材的砂轮，包括本体，所述本体包括基体、电镀在基体的表面的一层金刚石磨削层，所述本体为旋转体，所述本体沿其旋转轴在其外壁上依次设有用于侧边打磨的圆柱段、用于倒圆角的圆弧过渡段和用于斜边打磨的第一环形坡面段，所述圆弧过渡段为喇叭状，所述圆弧过渡段的较大端与圆柱段连接，所述圆弧过渡段的较小端与第一环形坡面段连接，属于靶材加工技术领域。
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