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[发明专利]一种可切换工艺的晶圆清洗系统-CN202310720702.6在审
发明人： 沈鑫佳 -专利权人：拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种可切换工艺的晶圆清洗系统，所述系统包括：供液系统，被配置成提供第一清洗液体；过滤系统，被配置成过滤所述供液系统提供的所述第一清洗液体中的杂质；气体供给装置，被配置成提供反应气体；以及切换装置，在第一工艺与第二工艺切换，所述切换装置包括切换模块，所述切换模块被配置成在第一工艺下仅允许所述第一清洗液体单独通过；在第二工艺下允许所述反应气体与所述第一清洗液体发生反应产生第二清洗液体。
一种切换工艺清洗系统

[发明专利]一种独立的晶圆清洗液供给装置-CN202310725965.6在审
发明人： 沈鑫佳 -专利权人：拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种独立的晶圆清洗液供给装置，至少包括：液体供给模块，被配置成提供清洗液体；液体过滤模块，被配置成对所述液体供给模块提供的清洗液体进行过滤；液体控制分流模块，被配置成对过滤后的液体进行分流和流量控制，提供多个分路的液体，其中，每个分路与一清洗机构连接，液体控制分流模块进一步被配置成对管道内液体快速排除，并且在机台闲置情况下进行微量泄露；气体供给模块，被配置成为所述液体供给模块、所述液体过滤模块以及所述液体控制分流模块内的相关阀提供气体供应，以控制所述相关阀的开关。
一种独立清洗供给装置

[发明专利]一种开磨一体机主轴磨头横移组件-CN202210732377.0在审
发明人：苏静洪;裴忠;吴张琪;陆吴强;沈鑫佳 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24B41/047 文献下载
摘要：本发明公开了一种开磨一体机主轴磨头横移组件，包括主轴磨头安装座，所述主轴磨头安装座上设置有往复机构，所述往复机构包括正向驱动组件、反向驱动组件和转向组件，所述正向驱动组件包括滑轨、轴承限位板和限位连接板，所述滑轨上开设有滑槽，所述主轴磨头安装座上设置有滑块，所述滑块位于滑槽内部，所述轴承限位板设置有两个，本发明开磨一体机主轴磨头横移组件，通过改变多个电磁体之间的磁极，从而将主轴磨头的移动方向在极短的时间内做出改变，不需要改变伺服电机的转动方向，避免了对伺服电机的损伤，相比传统的主轴磨头横移组件，本发明对于板材等表面平整规则的工件加工更具优势，生产效率更高。
一种一体机主轴磨头横移组件

[发明专利]一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法-CN202210624832.5有效
发明人：苏静洪;朱勤超;俞佳文;张王锋;沈鑫佳 -专利权人：天通日进精密技术有限公司;天通控股股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法，包括开磨平台，开磨平台上转动设有转盘，转盘用于放置工件，开磨平台上固定有用于驱动转盘转动的第一电机，开磨平台的上方设有对称分布的侧板，转盘位于侧板之间，侧板上滑动夹持件，开磨平台上固定有用于控制夹持件升降的第一驱动件，一侧的夹持件上设有第一调节件。本发明开磨装置通过将第二调节件转动至水平，在水平状态下，两个第二夹持板处于同一高度，通过第二调节件将工件调整至处于第二调节件的中心，通过第一驱动件调整工型滑块的高度，工型滑块上下滑动的同时带动顶部支撑板上下滑动，顶部支撑板滑动的距离为工型滑块的二倍，保证工型滑块始终位于底部支撑板与顶部支撑板的中间位置。
一种便于固定工件装置及其使用方法

[发明专利]一种具有砂轮自动修正功能的开磨机及其工作方法-CN202210625403.X有效
发明人：张钦亮;裴忠;沈鑫佳;俞佳文;陆吴强 -专利权人：天通日进精密技术有限公司;天通控股股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B24B7/10 文献下载
摘要：本发明公开一种具有砂轮自动修正功能的开磨机及其工作方法，涉及开磨机技术领域，包括工作台，砂轮机座顶端与横梁底端铰接，横梁一侧设有转动调节组件，转动调节组件被配置用以驱动砂轮机座沿转轴转动，转动调节组件包括齿轮和齿条，齿轮与转轴同轴固定连接，齿轮与齿条啮合连接，齿条与连接块滑动连接，升降支架两侧设有限位机构用以保持齿条处于对中位置，使得砂轮机座的砂轮轴线水平平行；横梁远离转动调节组件一侧设有两组滑块，滑块与横梁滑动连接，砂轮机座顶端两侧分别设有连杆铰接，滑块两侧均设有弹簧，本发明通过弹簧对滑块进行复位使其保持中间位置，从而对砂轮机座起到自动扶正的作用，提高了开模机的柔性，进而扩大了其适用范围。
一种具有砂轮自动修正功能开磨机及其工作方法

[发明专利]一种具有上下料翻转组件的开磨一体机-CN202210625396.3在审
发明人：苏静洪;张峰;吴张琪;沈鑫佳;韩鸣明 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明公开一种具有上下料翻转组件的开磨一体机，涉及机械设备领域，包括纵向移动机构，所述纵向移动机构的后侧顶端设置有纵向移动驱动机构，纵向移动机构的前端底部设置有切割控制机构，纵向移动机构的后端底部设置有翻转控制机构，翻转控制机构远离切割控制机构的一端设置有翻转辅助控制机构，翻转辅助控制机构的前端设置有移动控制机构，所述纵向移动机构包括核心支板，核心支板前端侧壁固定连接有纵向移动引导轴；同时，本发明在使用时，通过设置有自驱动式的翻转机构，能够实现非人工操作的翻转，提高工作安全度与工作效率，自动控制切割和翻转处理，且辅助机构能够辅助翻转，进一步提高工作效率。
一种具有上下翻转组件一体机

[实用新型]一种晶圆背面磨床的抓取机械手-CN202022640517.0有效
发明人：朱勤超;沈鑫佳;陶施家;韩鸣明;吴丰杰 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的抓取机械手，包括升降组件、移动组件、第一转动组件、第二转动组件、抓取组件以及防护罩，所述升降组件包括升降驱动单元、升降单元、支撑单元以及连接架，所述升降驱动单元与升降单元均设置在支撑单元上，所述防护罩设置在支撑单元上并将升降驱动单元、升降单元以及连接架环绕在内，所述连接架与升降单元相连接；所述移动组件包括固定架、移动驱动单元以及移动单元，所述移动驱动单元与移动单元均设置在固定架内，所述移动单元与抓取组件相连接，所述抓取组件包括支撑架、抓取手部以及固定壳，所述支撑架与移动单元相连接，所述固定壳与支撑架相连接。本实用新型实现多维度的运动，提高了安全性。
一种背面磨床抓取机械手

[实用新型]一种晶圆背面磨床的搬运手-CN202022647920.6有效
发明人：吴张琪;陶施家;沈鑫佳;吴酉;徐海刚 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的搬运手，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元、滑动板相连接，所述滑动板设置在固定板与安装板之间，所述滑动板套设在支撑柱上且可沿支撑柱上下运动；所述转动机构包括转动驱动单元以及转动组件，所述转动驱动单元设置在滑动板上；所述吸盘机构包括连接组件以及吸盘件，所述吸盘件与抽真空装置相连通。本实用新型结构紧凑，实现对晶圆的纵向以及横向的搬运过程，具有更好的安全性能。
一种背面磨床搬运

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