[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
申请号: | 202210027321.5 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN114362717A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 龙开祥;孙博文;国世上;蔡耀;孙成亮;刘炎;罗天成 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严小艳 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,涉及滤波器技术领域,包括:衬底以及依次层叠设置于衬底上的下电极、压电层、上电极和电容结构,电容结构与上电极连接,由于电容结构直接以层叠的方式设置于上电极上,因此,能够避免因为引入电容结构从而增大占用面积所导致的封装困难。由于引入电容结构,因此,能够显著增强体声波滤波器的带外抑制特性,同时,通过电容结构与薄膜体声波谐振器进行连接,还能够有效减少外接电路引入的性能损耗。在利用薄膜体声波谐振器搭建滤波器时,可以使得多个薄膜体声波谐振器以串联、并联的方式连接在一起即可,无需形成拓扑结构,有效降低了制备难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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