[发明专利]曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202111285535.4 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114442445A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 赤松昭郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法。控制单元基于在第一定时由检测系统检测的照明光的第一分布和在第一定时之后的第二定时由检测系统检测的照明光的第二分布、在第二定时之后的第三定时控制在投影系统的光轴方向上的相对位置和在垂直于光轴方向的方向上的相对位置，在第一定时和第二定时检测的照明光已穿过第一标记和第二标记。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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