[发明专利]一种半导体基板加工设备

摘要

本发明提供一种半导体基板加工设备，包括用于进行清洗半导体基板的清洗桶、支撑腿和用于对半导体基板进行控制的翻板清洗机构，所述清洗桶的底部固定连接有支撑腿，所述翻板清洗机构设置在清洗桶上，所述清洗桶的底部套接有排水管，所述排水管的底端安装有控制阀，涉及基板加工领域。该半导体基板加工设备根据现有的半导体基板清洗存在容易堆积，难以全面清洗的问题，设计可以不断冲刺基板两侧面进行全面刷洗，并且可以反复颠簸基板避免聚拢的特殊结构，从而有效的解决了一般的清洗装置在对基板进行清洗的时候，难以对其表面进行全面的擦拭，且半导体基板容易堆积聚拢，难以进行大量的同时清洗，进而在一定程度上影响了清洗效率的问题。