[发明专利]一种石英音叉的加工方法在审
| 申请号： | 202110639910.4 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113376961A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 林家海 | 申请（专利权）人： | 浙江一晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/02;C23C14/58;B08B3/12 |
| 代理公司： | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人： | 杜放 |
| 地址： | 317700 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英音叉的加工方法，包括以下步骤：a：将配制后的处理液倒入烧杯内，同时将石英音叉元件均匀的布置在烧杯内，将烧杯放入超声波槽内进行超声，超声后排出烧杯内处理液，将烧杯内的石英音叉元件用冷热交替纯水流水冲洗，再用去离子水流水冲洗，并进行二次超声；b：采用真空溅射和真空热蒸发对基本元件进行镀膜；c：采用光刻机将石英音叉元件第一面进行光刻；d：将第一面光刻后的石英音叉元件放入腐蚀液中；e：采用光刻机套刻第二面音叉图形，采用黑白十字标记套准；f：将第二面光刻后的基本元件放入腐蚀液中，剥离除光刻胶；g：采用氢氟酸和氟化铵溶液对基本元件进行化学腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 音叉 加工 方法 | ||
【主权项】：
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