[发明专利]动态随机存取存储器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110587180.8 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113327926B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 许耀光;朱贤士;周运帆;童宇诚;王超雄 | 申请（专利权）人： | 福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H10B12/00 | 分类号： | H10B12/00 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 陈敏;吴昊 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态随机存取存储器，包括一衬底，复数个第一有源区域设置在该衬底上，沿着一第一方向端部对端部排列并且沿着一第二方向互相平行，其中该第一方向垂直于该第二方向。复数个第二有源区域设置在该第一有源区域之间并且沿着该第一方向端部对端部排列，其中该第二有源区域各自包括邻近该第二有源区域与该第一有源区域之间的一第一沟槽的一第一侧壁以及邻近该第一有源区域的端部之间的一第二沟槽的一第二侧壁，其中于沿着该第二方向的一剖面图中，该第一侧壁的一第一倾角大于该第二侧壁的一第二倾角。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 随机存取存储器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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