[发明专利]晶体管在审
申请号: | 202110571808.5 | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN113299760A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 马可范达尔 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/41;H01L29/423 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种晶体管包括第一栅极结构、沟道层以及源极/漏极接触件。第一栅极结构包括纳米片材。沟道层位于第一栅极结构上。沟道层的一部分包绕第一栅极结构的纳米片材。源极/漏极接触件位于纳米片材旁。源极/漏极接触件与沟道层电连接。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 | ||
【主权项】:
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