[发明专利]一种半导体器件检测用温度控制系统在审
申请号: | 202110510058.0 | 申请日: | 2021-05-11 |
公开(公告)号: | CN113253776A | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 王飞;王锟;鲁启永 | 申请(专利权)人: | 湖北福灿电子科技有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;H01L21/66 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 436000 湖北省鄂州市梧桐湖新*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种半导体器件检测用温度控制系统,包括中央处理器,还包括高温监测模块和低温监测模块,所述中央处理器的输出端通过导线与升温系统的输入端电性连接,所述中央处理器的输入端通过导线与控制面板的输出端电性连接,并且中央处理器的输出端通过导线与降温系统的输入端电性连接,所述中央处理器通过导线与信息分析模块实现双向连接,本发明涉及控制系统技术领域。该半导体器件检测用温度控制系统,通过信息分析模块能够对测得的温差与设定的温差阈值进行对比,从而在温度达到最高和最低之前进行预调整,使检测过程始终处于合理温度范围内,有利于提高检测结果的准确性,且能够延长控制系统的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 检测 温度 控制系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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