[发明专利]一种具有高灵敏度的压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110457934.8 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113270491A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 仇志军;杨强强;贺瑞坡 | 申请（专利权）人： | 有云信息科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/737 | 分类号： | H01L29/737;H01L29/06;H01L29/20;H01L29/205;H01L21/331;H01L41/113;H01L41/18;H01L41/27;H01L41/332;G01L1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 215007 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有高灵敏度的压力传感器及其制备方法。本发明压力传感器包括：Si衬底上依次沉积的GaN缓冲层和n型掺杂GaN层；n型掺杂GaN层上沉积的p型掺杂GaN层；p型掺杂GaN层上沉积的n型掺杂AlGaN层；在n型AlGaN上淀积的一层AlN；选择性刻蚀部分AlN层、p型GaN层和n型GaN层形成的发射极、基极和集电极的电极接触区；选择性刻蚀n‑AlGaN/p‑GaN/n‑GaN外延层以及GaN缓冲层形成的悬空AlN悬梁臂。本发明利用悬梁臂灵敏的压力传导效应将压力信号转换成电信号，并输入双极性晶体管结构，利用功放作用将信号适当放大输出，使得该发明具有极高的灵敏度、良好的环境适应性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 灵敏度 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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