[发明专利]真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202110403939.2 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN112795896A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张永胜;解传佳;彭孝龙;吴超;季京辉;董刚强;孟冬冬 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜装置，包括腔体、承载单元及至少一个导电单元，其中，腔体具有相连接的第一侧壁、第二侧壁及与第二侧壁相对设置的第三侧壁，第一侧壁连接第二侧壁及第三侧壁，第一侧壁上开设有入口，用于承载单元可移动地通过入口输送至腔体内，且包括托盘及嵌设于托盘上的多个基板；导电单元设置于第二侧壁或第三侧壁上，且在靠近入口上方一侧具有伸入至腔体内部的接触组件，接触组件可抵接于托盘上，且在抵接时电性连接，继而偏压由导电单元导入，通过托盘传递至基板上，优化基板上的镀膜质量，该真空镀膜装置结构简单，且性能稳定，适合大规模推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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