[发明专利]一种自润滑难熔高熵合金薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110400712.2 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113106408B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 周青;罗大微;黄卓斌;刘世豪;陈自强;王海丰 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 徐云侠 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于耐磨高熵合金技术领域，涉及一种自润滑难熔高熵合金薄膜及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：采用磁控溅射技术先在硅基体上镀一层NbMoWTa层，再以所述NbMoWTa层作为生长模板，交替沉积Ag层与NbMoWTa层形成NbMoWTa/Ag纳米多层膜，且最顶层为NbMoWTa层。本发明提供的制备自润滑难熔高熵合金薄膜的方法，制备得到的薄膜结构致密，镀膜面积大；且该方法简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 润滑 难熔高熵 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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