[发明专利]一种用于制备碳碳复合材料的装置在审

专利信息
申请号: 202110385377.3 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN113136570A 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 郭李梁;朱振业 申请(专利权)人: 郭李梁;朱振业
主分类号: C23C16/54 分类号: C23C16/54;C23C16/26;C23C16/455;C04B35/83;C04B35/622
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河南省洛阳市*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种用于制备碳碳复合材料的装置,涉及新材料制备技术领域,本发明中预制体设置在工装内,在工装的外部设置加热器,在预制体的内部设置进气管(1),在工装的底部设置抽气口(15),气体由内向外输送,热解碳的沉积由高温向低温推进完成致密化,从而提高沉积速率,保证密度的均匀性,有效的避免了预制体表面结壳,可以实现预制体的一次成型等,本发明具有沉积效率高、制品性能好,发展潜力大等特点,适合大范围的推广和应用。
搜索关键词: 一种 用于 制备 复合材料 装置
【主权项】:
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  • 本实用新型公开了一种铜带单面镀膜设备,包括镀膜机壳,所述镀膜机壳的左侧固定连接有第一电机,所述第一电机的右侧内腔设置有转轴,所述转轴的外圈固定套装有旋转筒,所述旋转筒的左侧固定连接有弹簧筒,所述弹簧筒的左侧固定连接有弹簧杆,所述第一电机的内腔设置有固定筒,所述固定筒的左侧活动连接有伸缩杆,所述所述镀膜机壳的顶部固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶部固定连接有镀膜加热器,所述镀膜加热器的顶部固定连接有支撑板,所述支撑板的内腔设置有旋转杆,所述旋转杆的外圈固定套装有镀膜筒,所述支撑板的左侧固定连接有压缸,所述所述镀膜机壳的正面固定连接有顶板,所述顶板的底部固定连接有第二电机。
  • 一种直线式PECVD设备-202222647490.7
  • 杨与胜;庄辉虎;练小洪 - 福建金石能源有限公司
  • 2022-10-08 - 2023-04-07 - C23C16/54
  • 本实用新型提供了一种直线式PECVD设备,其包含多个腔室,从进料端依次包含:进料腔,预热腔、多个反应腔、冷却腔和出料腔;所述进料腔、预热腔、反应腔、冷却腔和出料腔均为独立的腔室,进料腔进料口和出料腔出料口及相邻腔室之间均设有密封隔断组件。当相邻两反应腔进行不同的沉积反应时,该两个反应腔之间还设有独立的缓冲腔;所述缓冲腔与反应腔之间也设有密封隔断组件。该直线式PECVD设备通过各个独立腔室的设置,及进料腔和出料腔的设置可以优化预热腔和冷却腔的功能,将稳定反应腔工艺气体和压力的时间节拍放在预热腔和冷却腔进行,减少反应腔的工艺沉积时间,从而大大缩短了整体节拍,有效提升设备产能。
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