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[发明专利]太阳能电池成膜用载板、其制造方法以及成膜设备-CN202311015954.5在审
发明人：盛忍;林宏俊;苏文章;陈金元 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司;合肥瑞硕科技有限公司
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开一种太阳能电池成膜用载板、其制造方法以及成膜设备。所述太阳能电池成膜用载板包括载板本体，所述载板本体包括用于承载太阳能电池基板的多个承载单元以及用于隔离多个承载单元的多个隔离肋条，所述多个隔离肋条中的至少部分隔离肋条上开设有镂空结构。本发明能有效降低载板的热膨胀变形，大幅降低载板成本，提升成膜设备的综合竞争力和客户使用成本。
太阳能电池成膜用载板制造方法以及设备

[发明专利]具有追踪功能的太阳能电池制造方法及其所用的追踪系统-CN202011279321.1有效
发明人：马哲国;朱帆;陈金元 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种具有追踪功能的太阳能电池制造方法及其所用的追踪系统。所述系统包括第一至第七绑定模块、第一至第五存储模块以及追踪模块。第一绑定模块用于针对放入清洗硅片盒的对应硅片槽的每个硅片生成唯一的虚拟标识码，并将虚拟标识码逐一绑定至由第一转载时间、清洗硅片盒标识码及其对应硅片槽编号组成的第一组合码；其他绑定模块用于将虚拟标识码绑定至相应的其他组合码；各个存储模块用于存储每个硅片的虚拟标识码、对应的工艺及其开始时间、终止时间及设备编码；追踪模块用于根据每个电池片的I‑V测试结果及其对应的虚拟标识码对清洗制绒工艺、第一PECVD、第二PECVD、PVD成膜工艺、丝网印刷工艺及各自对应的设备中至少一个进行追踪。
具有追踪功能太阳能电池制造方法及其所用系统

[实用新型]用于真空反应腔的抽气栅以及PECVD反应腔-CN202320136726.2有效
发明人：杨飞云 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型提供用于真空反应腔的抽气栅以及PECVD反应腔。所述用于真空反应腔的抽气栅包括长条状的本体以及多个贯穿本体、沿本体的长边并行排列的栅孔，所述栅孔的密度沿着本体长度方向从边缘向中部逐渐减小。所述PECVD反应腔包括位于腔顶的淋喷头以及位于腔体两侧的抽气栅，所述抽气栅为本实用新型所述的用于真空反应腔的抽气栅。本实用新型能改善真空镀膜的膜厚均一性。
用于真空反应抽气栅以及 pecvd

[实用新型]成膜用立式载板-CN202320953079.4有效
发明人：盛忍;林宏俊;苏文章 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型提供一种成膜用立式载板。所述成膜用立式载板包括载板盘体，所述载板盘体上针对每片硅片设置一个承载区，每个承载区周边设置有多个限位件，每个限位件包括设置在所述载板盘体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、设置成依次穿过所述四叶形旋钮以及基座的销轴，所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件，固定件穿过载板盘体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板盘体上，所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片。本实用新型能降低在载板中取放硅片时硅片的破损率，并能解决因载板变形导致的硅片卡住以及难以到位的问题。
成膜用立式

[实用新型]板式加热器以及加热腔-CN202320969400.8有效
发明人：徐升东;徐和平 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供板式加热器以及加热腔。所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本实用新型能提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。
板式加热器以及加热

[实用新型]磁控溅射阳极以及磁控溅射设备-CN202320875203.X有效
发明人：徐升东 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供磁控溅射阳极以及磁控溅射设备。所述磁控溅射阳极与布气组件以及旋转阴极一并布置在磁控溅射设备的溅射腔中，所述磁控溅射阳极设置在所述溅射腔的盖板或底板与所述旋转阴极之间，并且构造成包覆所述旋转阴极并将其旋转轴及面向基片的溅射端露出的U形罩，所述U形罩底部开设有适于所述布气组件穿设的通槽，所述U形罩接收及限制所述布气组件提供的气体并且收集所述旋转阴极表面的靶材在溅射过程中产生的电子。本实用新型能提高磁控溅射阳极捕获电子的能力，减少电子逃逸以及电子达到基片上的概率，提高溅射稳定性。
磁控溅射阳极以及设备

[发明专利]等离子体增强化学气相沉积设备-CN202310664937.8在审
发明人：欧阳亮 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：本发明提供等离子体增强化学气相沉积设备。所述等离子体增强化学气相沉积设备包括腔体、位于腔体外且用于产生激发等离子体的射频信号的射频电源、位于腔体内且位于进气口下方且用于均匀从进气口进入腔体的反应气体的布气板组件、位于布气板组件的下方且其底面为朝上凹陷的曲面的上电极、悬挂于所述上电极的下方的电介质层以及位于腔体底部且接地并与上电极相对设置的下电极；电介质层的顶面中部针对上电极凹陷的曲面设置有凸起，所述凸起使得上电极与电介质层之间的间距小于能够产生次生等离子体的预定间距。本发明能阻止在上电极与电介质层之间产生次生等离子体，从而保证等离子体在电介质层下方的等离子体腔体中产生。
等离子体增强化学沉积设备

[实用新型]加载腔用气体扩散器以及加载腔-CN202320237524.7有效
发明人：刘彦斌;孙晓晟 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型提供加载腔用气体扩散器以及加载腔。所述加载腔用气体扩散器包括帽体以及沿所述帽体末端设置的帽沿，所述帽体的侧壁上开设有多排扩散孔，以将从其帽口进入的气体排入加载腔中，所述帽沿通过多个固定件安装在所述加载腔中。本实用新型能有效减小加载腔破空所需时间并有效降低成本。
加载气体扩散器以及

[实用新型]坐梯两用式载具-CN202320280954.7有效
发明人：杨荣健;杨飞云;李朋;胡广迎 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： A47C12/02 文献下载
摘要：本实用新型提供坐梯两用式载具。所述坐梯两用式载具包括通过铰链连接且层叠设置的第一部分以及第二部分，第一部分包括层叠设置且相互错开的第一台阶以及第二台阶，第二部分包括层叠设置且相互错开的第三台阶以及第四台阶，第三台阶与第二台阶及第一台阶共用第一侧腿架，第一侧腿架在第三台阶与第二台阶之间分为由所述铰链连接的上侧腿架与下侧腿架，随着上侧腿架沿着所述铰链翻转180度所述第三台阶与第四台阶倒置且分别叠放在第二台阶与第一台阶上，第三台阶的底板朝上成为座椅的椅面，并且第三台阶以及第四台阶共用的第二侧腿架成为座椅的椅背。本实用新型能减小占地面积且兼具座椅与梯子两项功能。
两用式载具

[实用新型]腔体填充板以及加载/卸载腔-CN202320237380.5有效
发明人：刘彦斌;孙晓晟 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供腔体填充板以及加载/卸载腔。所述腔体填充板包括上盖、下盖以及密封焊接在上盖与下盖之间、由多根方管焊接而成的中间件，所述中间件两侧设置有安装件，所述中间件在其内侧壁上开设有通孔，在其外侧壁上开设有用于对所述腔体填充板进行检漏的检漏孔，所述检漏孔上设置有封堵件。本实用新型的腔体填充板造价低廉、加工简单、安装维护方便。
填充以及加载卸载

[发明专利]磁控溅射阳极以及磁控溅射设备-CN202310417378.0在审
发明人：徐升东 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供磁控溅射阳极以及磁控溅射设备。所述磁控溅射阳极与布气组件以及旋转阴极一并布置在磁控溅射设备的溅射腔中，所述磁控溅射阳极设置在所述溅射腔的盖板或底板与所述旋转阴极之间，并且构造成包覆所述旋转阴极并将其旋转轴及面向基片的溅射端露出的U形罩，所述U形罩底部开设有适于所述布气组件穿设的通槽，所述U形罩接收及限制所述布气组件提供的气体并且收集所述旋转阴极表面的靶材在溅射过程中产生的电子。本发明能提高磁控溅射阳极捕获电子的能力，减少电子逃逸以及电子达到基片上的概率，提高溅射稳定性。
磁控溅射阳极以及设备

[发明专利]PVD设备以及PVD沉积方法-CN202310451910.0在审
发明人：马哲国;张云飞;王宇宙;闫涛 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供PVD设备以及PVD沉积方法。所述PVD设备包括多个布置在溅射腔中的磁控溅射旋转阴极，所述磁控溅射旋转阴极包括靠近溅射腔入口的第一旋转阴极以及位于第一旋转阴极与溅射腔出口之间的多个第二旋转阴极，所述第一旋转阴极的直径为所述第二旋转阴极的直径的50％‑80％，所述第一旋转阴极的工作功率为所述第二旋转阴极的工作功率的50％‑60％，所述第一旋转阴极与所述第二旋转阴极具有相同的换耙周期。本发明能抑制换靶初期太阳能电池效率的降低，能提高成膜均匀性以及靶材利用率，能提高PVD设备的运行时间及换靶周期。
pvd 设备以及沉积方法

[实用新型]丝网印刷刮板以及丝网印刷刮刀组件-CN202222992616.4有效
发明人：陈佳浩;吴科俊;刘忆军;陈金元 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B41F15/44 文献下载
摘要：本实用新型提供丝网印刷刮板以及丝网印刷刮刀组件。所述丝网印刷刮板包括板体部以及设置在板体部一侧末端的胶体部，所述胶体部在与网板接触的末端设置有与太阳能电池的主栅线相匹配的凹槽，进行丝网印刷时所述凹槽的底面与网版平行。本实用新型能提高主栅线的高度以及太阳能电池的电性能。
丝网印刷以及刮刀组件

[实用新型]双层机械手传输机构以及加载/卸载腔-CN202320242075.5有效
发明人：刘彦斌;孙晓晟 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供双层机械手传输机构以及加载/卸载腔。所述双层机械手传输机构包括电机、并列的第一同步带组件、第二同步带组件、并列的第一导轨组件以及第二导轨组件，双层机械手包括并行设置在长方形框架的上下层上的上、下层机械手，长方形框架的上部两侧分别与第一同步带组件以及第二同步带组件相连接，其下部两侧分别与第一导轨组件的第一滑块以及第二导轨组件的第二滑块相连接，电机转动从而带动第一同步带、第二同步带、长方形框架、第一滑块以及第二滑块沿着第一导轨组件的第一导轨以及第二导轨组件的第二导轨水平移动，从而驱使双层机械手水平移动。本实用新型能增加传输机构的使用寿命，能降低设备成本以及加工及安装难度。
双层机械手传输机构以及加载卸载

[发明专利]用于制造埋栅太阳能电池的方法以及埋栅太阳能电池-CN202211087653.9在审
发明人：马哲国 -专利权人： 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本发明提供用于制造埋栅太阳能电池的方法以及埋栅太阳能电池。所述埋栅太阳能电池包括单晶硅片，所述单晶硅片正面上依次形成有第一本征非晶硅层以及第一氮化硅减反层，所述单晶硅片反面上开设有多个凹槽，所述多个凹槽中设置有电镀电极，所述单晶硅片反面上依次形成有第二本征非晶硅层以及第二氮化硅减反层，连接导线通过由激光焊接工艺形成的焊点与硅片两端的电镀电极焊接连接，所述多个凹槽的槽壁为N型重掺层或P型重掺层，相邻凹槽槽壁的重掺杂类型相反。本发明能提高太阳能电池的填充因子以及电池效率，降低太阳能电池的制造成本。
用于制造太阳能电池方法以及

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