[发明专利]可燃气体处理装置有效
| 申请号： | 202110356263.6 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113091074B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李岑;闫晓腾;韩子迦 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23G5/12;F23G5/50;F23G5/44;F23J15/02;F23J15/06;B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，燃烧腔室用于连通工艺腔室和吸收存储腔室；燃烧腔室内设有高温燃烧组件，高温燃烧组件用于使排放至燃烧腔室中的工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室中；吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体，且吸收存储腔室上设置有第一排气结构，第一排气结构用于将未经吸收存储的工艺废气排放。本发明提供的可燃气体处理装置，能够降低可燃气体排放到外界的量，降低工艺污染，提高工艺安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 可燃 气体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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