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[发明专利]可燃气体处理装置-CN202110356263.6有效
发明人：李岑;闫晓腾;韩子迦 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，燃烧腔室用于连通工艺腔室和吸收存储腔室；燃烧腔室内设有高温燃烧组件，高温燃烧组件用于使排放至燃烧腔室中的工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室中；吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体，且吸收存储腔室上设置有第一排气结构，第一排气结构用于将未经吸收存储的工艺废气排放。本发明提供的可燃气体处理装置，能够降低可燃气体排放到外界的量，降低工艺污染，提高工艺安全性。
可燃气体处理装置

[发明专利]半导体工艺设备的尾气处理装置-CN202011248286.7有效
发明人： 闫晓腾;杨帅;杨慧萍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺设备的尾气处理装置，所公开的尾气处理装置中：加热装置设置于壳体内，且第一容纳空间和第二容纳空间通过加热装置连通，壳体设置有出口部，出口部与第一容纳空间连通，且加热装置的出口朝向第一容纳空间，气压调节装置设置于加热装置的出口处，以调节加热装置和第一容纳空间二者的气压差；加热装置的入口朝向第二容纳空间，尾气进气装置的出气口位于第二容纳空间内，且与加热装置的入口相对设置，尾气进气装置的进气口位于壳体外，第二容纳空间通过空气进气量调节装置与壳体外连通，以调节进入第二容纳空间中空气的进气量。上述方案能够解决目前的尾气处理装置存在空气进气量以及进出口压差均不可调节的问题。
半导体工艺设备尾气处理装置

[发明专利]一种用于抗渗漏测试的金属波纹管弯曲装置-CN202010399188.7有效
发明人： 闫晓腾;刘胜成;刘玲;汝浩东 -专利权人：广信检测认证集团有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于抗渗漏测试的金属波纹管弯曲装置，包括，竖直设置的试验板，与试验板可拆卸连接的第一限位板，第一限位板为圆弧形板；第一限位板的外周对应的中心线过第一限位板第一预定轨迹对应的圆心；设置在试验板上的两个滑道；且两滑道的长度方向与第二预定轨迹的长度方向平行，第二预定轨迹为过第一预定轨迹的中心和第一限位板中点在试验板上的投影；与对应滑道滑动配合连接的滑块；滑动设置在试验板上的第二限位板，第二限位板与两个滑块连接；第二限位板的内侧面对应半径等于试验设定的弯曲半径与待测试波纹管直径之和；及连接第二限位板与对应的滑块的锁紧部件。本发明能够使金属波纹管按设定的弯曲半径弯曲，并保持该弯曲状态。
一种用于渗漏测试金属波纹管弯曲装置

[实用新型]一种夹片洛氏硬度测试用工作台-CN202121417910.1有效
发明人：孙爱芬;王振胜;王媛媛;王志强;闫晓腾;李义凯;张明祥;王虎;董自坤;周仲;马良 -专利权人：山东华鉴工程检测有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01N3/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种夹片洛氏硬度测试用工作台，包括工作台、定位凸柱、限位挡板，所述定位凸柱、限位挡板均安装在工作台上，所述限位挡板位于定位凸柱的端部，所述定位凸柱的数量为多个，所述限位挡板的数量与定位凸柱一一对应，所述工作台下方设有底座，所述工作台滑动安装在底座上，所述底座端部两侧安装有限位机构。本实用新型工作台上安装有多个定位凸柱，能够一次性安装多个夹片，避免了对夹片反复安装与拆卸，降低了劳动强度，提高了工作效率，其中一个夹片测试完成后移动工作台进行下一个夹片的测试，通过限位机构保证工作台每次运动相同的距离，从而保证了测试结果的准确性。
一种夹片洛氏硬度测试用工

[发明专利]半导体工艺设备及其压力调节装置-CN202111488970.7在审
发明人：张波;杨慧萍;闫晓腾 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体工艺设备及其压力调节装置，所公开的压力调节装置包括壳体、压力调节阀芯组件和驱动机构，其中：所述壳体具有连通设置的内腔和气体通道，所述气体通道开设有进气口和排气口，所述进气口用于与所述半导体工艺设备的排气管道连通；所述驱动机构设于所述内腔中，所述压力调节阀芯组件设置于所述内腔与所述气体通道的连通处；所述驱动机构与所述压力调节阀芯组件连接，所述驱动机构用于驱动所述压力调节阀芯组件运动，以使所述压力调节阀芯组件调节所述气体通道的通气开度。上述方案可以解决压力调节阀芯组件与壳体在连接处密封失效时造成压力调节装置调压失效的问题。
半导体工艺设备及其压力调节装置

[发明专利]半导体工艺炉-CN202111401340.1在审
发明人： 闫晓腾;杨帅;杨慧萍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺炉，其包括炉管和送气组件，所述送气组件包括：进气管、多个送气管和多个环状匀流件，所述进气管一端设有进气口，多个所述送气管的一端均与所述进气管的另一端连通，各所述送气管的另一端均设有送气口，多个所述送气口沿所述炉管的轴向间隔设置；各所述环状匀流件均设置于所述炉管的内部，且沿所述炉管的轴向间隔设置，所述环状匀流件内设置有匀流腔，其上间隔分布有多个匀流孔，多个所述送气口与多个所述环状匀流件的所述匀流腔一一对应地连通。上述半导体工艺炉能够解决因目前工艺炉中工艺气体分布不均匀导致部分晶圆的工艺效果较差的问题。
半导体工艺

[发明专利]半导体工艺设备及其控压管路结构-CN202111438602.1在审
发明人： 闫晓腾;杨帅;杨慧萍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺设备及其控压管路结构，所述控压管路结构包括排气管路和供气管路，其中：所述排气管路的一端与所述半导体工艺设备的排气通道连接，所述排气管路的另一端与厂务排气端连接，所述排气管路用于排出所述半导体工艺设备中的工艺气体；所述供气管路与稀释气体气源连接，所述供气管路的出气端延伸至所述排气管路内，以向所述排气管路中通入稀释气体；所述稀释气体进入所述排气管路的气流方向与所述排气管路内的所述工艺气体的气流方向之间的夹角大于等于0°，且小于90°。上述方案能够在有效稀释工艺气体的基础上，防止气体倒灌入工艺腔室。
半导体工艺设备及其管路结构

[实用新型]一种塑料波纹管测量装置-CN202121774682.3有效
发明人：马建;孙爱芬;闫晓腾;张明祥;李义凯;候现松;王松;夏廷辉;董凡荣;倪效虎 -专利权人：山东华鉴工程检测有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种塑料波纹管测量装置，包括底座，所述底座顶部一侧安装有立杆，所述立杆的外围套设有套环，所述套环通过第一锁紧螺栓安装在立杆上，所述套环的一侧安装有横杆，所述横杆端部安装有U型块，所述U型块中安装有刻度尺与位移显示器，所述位移显示器位于刻度尺的前端，所述刻度尺活动安装在U型块中并通过第二锁紧螺栓固定，所述刻度尺的底端安装有压杆，所述压杆直径为12mm、长度为150mm的圆柱体。本实用新型本装置中压杆与试验时施加载荷用的圆柱顶压头型状、尺寸相同，通过压杆对试验前后波纹管上同一位置的测量，能够准确测量波纹管的外径，保证了试验结果有效性。
一种塑料波纹管测量装置

[实用新型]一种路面取芯用导水装置-CN202121775215.2有效
发明人：段晓乐;任士朴;闫晓腾;商淑杰;孙爱芬;马建;张明祥;董凡荣;霍晨曦;张炯 -专利权人：山东华鉴工程检测有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： E21B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种路面取芯用导水装置，包括第一筒体，所述第一筒体内部设有第二筒体，所述第二筒体通过搭板卡接在第一筒体上，使得第一筒体与与第二筒体之间形成一个结构稳定的整体，所述第二筒体的顶部、第一筒体的内部卡接有挡板，所述挡板的内径小于第二筒体的内径且略大于钻头的直径，所述第一筒体与第二筒体上的同一侧均开设有安装孔，安装孔内部安装有出水管。本实用新型对取芯过程中产生的污水进行导出，能够有效降低钻芯过程中的污水对路面的污染，且在取完芯样后的处理过程中减少使用水车大量对路面冲水清洗的情况，从而达到降低路面污染及节约水资源的目的，保证了路面结构的稳定性。
一种路面取芯用导水装置

[发明专利]半导体设备及其工艺副产物处理装置-CN202111138877.3在审
发明人：李岑;杨帅;闫晓腾 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体设备及其工艺副产物处理装置，涉及半导体设备技术领域。该工艺副产物处理装置包括冷却分离装置、温度传感器、控制单元和辅助降温单元，冷却分离装置用于与半导体设备的工艺腔室的排气口连通，以将自工艺腔室排出的工艺副产物冷却实现气液分离。温度传感器设置于冷却分离装置，且温度传感器用于感测冷却分离装置内的温度。辅助降温单元用于降低冷却分离装置内的温度，控制单元分别与温度传感器和辅助降温单元相连，在温度传感器感测的温度值大于预设值的情况下，控制单元控制辅助降温单元打开，降低冷却分离装置内的温度。该方案能解决半导体设备的工艺副产物处理过程中无法监测和调节冷却系统对副产物冷凝效果的问题。
半导体设备及其工艺副产物处理装置

[发明专利]一种用于建筑外墙攀爬用的爬梯-CN202010661546.7有效
发明人：楼和根 -专利权人：安徽冠纵建筑有限公司;闫晓腾
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： E06C9/08 文献下载
摘要：本发明属于爬梯技术领域，尤其涉及一种用于建筑外墙攀爬用的爬梯，它包括爬梯本体、安装杆，其中爬梯本体通过多个从上到下均匀分布的安装杆安装在墙体上；本发明设计的爬梯，如果在攀爬过程中，如果攀爬者不小心掉落后，对应的梯架就会失去攀爬者施加的压力，在对应复位弹簧的作用下上移，梯架上带动限位杆上移，使得限位杆解除对对应限位卡板的限位，对应的防摔半圆板下摆，与对应爬梯单元中的护栏下端配合；对下摔者起到保护作用。如果摔下的人不能自己站起时，此时就需要有人从下侧爬到触发后的防摔半圆板的下侧，打开防摔半圆板，然后从打开后的摆板处爬上，将摔下的人救出。
一种用于建筑外墙攀爬爬梯

[发明专利]半导体热处理设备及其排气压力调节装置-CN202110560139.1在审
发明人： 闫晓腾;杨帅;杨慧萍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： F16K1/04 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体热处理设备及其排气压力调节装置，该排气压力调节装置包括主体、调节杆、调节板和密封组件。主体设置有第一通道，第一通道包括调节段和与调节段连通的流通段。半导体热处理设备包括排气管路，调节段设有连通排气管路和调节段的通孔。密封组件设置于调节段远离流通段的一端。密封组件分别与主体和调节杆密封配合。调节杆并穿过密封组件伸入调节段中。调节板设置于调节杆伸入调节段的一端。调节杆可带动调节板沿调节段移动。通孔的横截面具有两个调节边，两个调节边在第一方向上的间距相等，第一方向与调节板的移动方向相互垂直。该方案能解决排气压力调节装置难以实现排气压力稳定逐步变化的问题。
半导体热处理设备及其排气压力调节装置

[发明专利]一种高压极化的太阳能电池表面月尘自主清除小车-CN201910012102.8有效
发明人：姜晶;闫晓腾;樊真权 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B08B6/00 文献下载
摘要：一种高压极化的太阳能电池表面月尘自主清除小车,它属于月尘清除技术领域，主要为了解决现有技术中应用于月尘除尘装置存在的安全性低、使用范围小、工作效率低和耗能大的问题，本发明包括包括除尘层、驱动层、供能层和圆形支撑板，利用高压模块电源将由太阳能电池板输入的12V直流电压转换为0～3000V可调的高压电源。将高压输出端分别连接被保护平面和除尘电极，当两者充分靠近(2～6mm)时其间会产生强烈的电场，在电场的作用下，月尘粒子将会被极化并带上与除尘电极相反的电荷，在电场力的作用下被吸附到除尘电极上，本发明主要用于对月面太阳能电池板上的月尘进行清除。
一种高压极化太阳能电池表面自主清除小车

[发明专利]月尘光电清除系统除尘电极及其制作方法-CN201810516615.8有效
发明人：姜晶;闫晓腾;赵宏跃;岳洪浩 -专利权人：哈尔滨工业大学(威海)
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B08B6/00 文献下载
摘要：月尘光电清除系统除尘电极及其制作方法，属于月尘清除技术领域，本发明为解决现有月尘光电清除系统除尘效率低的问题。本发明所述除尘电极包括上层聚酰亚胺绝缘膜、下层聚酰亚胺绝缘膜和多个条形导体电极；多个条形导体电极等间距均匀设置在上层聚酰亚胺绝缘膜和下层聚酰亚胺绝缘膜之间，多个条形导体电极之间导通，上层聚酰亚胺绝缘膜上开有裸露一部分电极的圆孔。本发明用于月尘光电清除。
光电清除系统除尘电极及其制作方法

[发明专利]半导体设备的门结构-CN202011304449.9在审
发明人： 闫晓腾;程晨;杨帅;韩子迦 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备的门结构，门框组件包括转动连接件、通过转动连接件与半导体设备主体可转动连接的第一支架、与第一支架相对设置并通过第一驱动机构与半导体设备主体连接的第二支架、设置在第一支架和第二支架之间并与二者连接的导轨、可驱动第二支架靠近或远离半导体设备主体的第一驱动机构；门体组件包括移动连接件、通过移动连接件可移动设置在导轨上的门体、设置在第一支架或第二支架上并与门体或移动连接件连接可驱动门体沿导轨移动的第二驱动机构。本发明提供的半导体设备的门结构能够提高门结构开关的便捷性，并能够任意调节门体对半导体设备主体的压力，提高门结构的适应性，且能够降低门体的损坏概率，提高门结构的使用稳定性。
半导体设备结构

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