[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板在审
| 申请号： | 202110341881.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113097295A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 曹曙光;张莹;刘家昌;张明;袁鑫 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L21/34;H01L29/786;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板。薄膜晶体管的制备方法包括：在半导体层上依次制作栅极绝缘层和栅极，以及对所述半导体层进行导体化，在所述半导体层上形成沟道区和源漏区；其中，沿所述沟道区的长度方向，所述栅极绝缘层的尺寸大于所述沟道区的设计长度；在对应所述源漏区的位置制作源漏电极，形成薄膜晶体管。与现有技术相比，本发明实施例增大了薄膜晶体管的沟道长度，减小了沟道长度的误差，提升了薄膜晶体管的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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