[发明专利]一种声光调制器用铟薄膜的制备方法在审
申请号: | 202110271388.9 | 申请日: | 2021-03-12 |
公开(公告)号: | CN113136556A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 汤惠淋;宋世金;朱刘;马英俊 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/58;C23C14/02;C23C14/18 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种声光调制器用铟薄膜的制备方法,其包括如下步骤:(1)安装In靶材;(2)清洗衬底;(3)通过直流磁控溅射在衬底上生长铟薄膜,生长温度为100~400℃;(4)对铟薄膜进行氢气退火处理。本发明的制备方法,在100~400℃的温度下生长铟薄膜,还对铟薄膜进行氢气退火,由此,不仅可利用高温处理降低铟薄膜的电阻率,使其具有优良的导电性能,还可防止最终获得的铟薄膜被氧化,最终制得表面光滑、金属光泽度高、组分均一、导电性能稳定、以及适用于声光调制器中的铟薄膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 声光 调制 器用 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
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