[发明专利]一种声波换能单元及其制作方法、声波换能器在审
| 申请号： | 202110257537.6 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113042345A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 郭景文;陶永春 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声波换能单元及其制作方法、声波换能器，涉及电子器件技术领域。本发明通过在第一衬底上设置第一电极，在第一衬底靠近第一电极的一侧设置支撑层，在支撑层远离第一衬底的一侧还设置有导体化振膜层；支撑层围成有空腔，第一电极、导体化振膜层和空腔在第一衬底上的正投影存在重合区域，且导体化振膜层同时作为声波换能单元中的振膜层和第二电极。通过将声波换能单元中的振膜层和第二电极合二为一，仅采用导体化振膜层同时作为振膜层和第二电极，使得声波换能单元的层结构较为简单，相应的，可减少声波换能单元的制作工序，从而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 单元 及其 制作方法 换能器 | ||
【主权项】：
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