[发明专利]一种用于PCB内层板的对准装置及对准方法

摘要

本申请涉及激光直写光刻技术的领域，尤其是涉及一种用于PCB内层板的对准装置及对准方法，其包括光源、准直装置、掩膜板，平台的一边角处开有通孔，光源连接在平台的底侧且位于通孔的下方，准直装置连接于光源的上侧，掩膜板的表面设有第一掩膜图形、第二掩膜图形，第一掩膜图形位于通孔的下方，光源发出的光线依次经过准直装置、掩膜板、通孔后映射在PCB内层板的反面，第二掩膜图形位于平台的外侧，光刻设备上滑移连接有对位相机。获取标记与曝光系统的实际位置关系的方法为正面曝光→对位→标记→复位→反面曝光。本申请具有获取标记与曝光系统的实际位置关系，从而确定PCB内层板正反面曝光图形的相对位置的效果。