[发明专利]光刻系统的扫描方法和光刻系统有效
| 申请号： | 202110019610.6 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112764324B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州领跃知识产权代理有限公司 32370 | 代理人： | 王宁 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻系统的扫描方法和光刻系统，涉及光刻技术领域，所述方法应用于光刻系统，所述光刻系统包括机台、工作台和数字微镜器件DMD，所述DMD设置在所述机台上，所述工作台用于设置被光刻对象，所述方法包括：控制运动主体进行运动，以使所述DMD与所述被光刻对象同时发生第一方向和第二方向上的相对运动，所述运动主体包括以下至少一种：所述DMD、所述机台和所述工作台。避免了现有方案中在需要更改清晰度时需要更换不同参数的DMD成本较高的问题，达到了可以通过调整运动主体的运动速度进而方便快捷的实现清晰度调整的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 扫描 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏迪盛智能科技有限公司，未经江苏迪盛智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110019610.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
