[发明专利]树脂成型体的蚀刻方法和树脂成型体用蚀刻处理系统在审

专利信息
申请号: 202080098454.0 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN115279943A 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 山川晴义;井芹一;山本裕都喜 申请(专利权)人: 栗田工业株式会社
主分类号: C23C18/24 分类号: C23C18/24
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 陈曦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 处理系统(1)具备蚀刻槽(2)、该蚀刻槽(2)底部流出并再次回流至蚀刻槽(2)的循环配管(7)。该循环配管(7)中设置有送液泵(8)、热交换器(9)、硫酸浓度计(10)、氧化剂浓度计(11)。硫酸浓度计(10)和氧化剂浓度计(11)能将测定结果发送至运算/控制装置(12)。另外,能用过氧化氢水供给管线(13)、硫酸供给管线(14)和纯水供给管线(15)向蚀刻槽(2)补充过氧化氢水、硫酸和纯水,能通过运算/控制装置(12)调节期望量的过氧化氢水、硫酸和纯水的供给量。采用这样的处理系统,能将不含6价铬酸或高锰酸但含有通过将硫酸和过氧化氢水混合而得的氧化性物质的硫酸溶液的硫酸浓度和氧化剂浓度两者保持在适当的浓度范围,对树脂成型体蚀刻。
搜索关键词: 树脂 成型 蚀刻 方法 体用 处理 系统
【主权项】:
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