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[发明专利]一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置-CN201811587320.6有效
发明人：冯倩;龚恒翔;郝跃;张进成;廖飞;杨专青;马五吉 -专利权人：西安电子科技大学;重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置，包括缓冲混合室、过渡腔和反应室，其中缓冲混合室顶部竖直设有多路气相物进管，该缓冲混合室外壁的左侧设有多路气溶胶进管；上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯；上升降板和下升降板的左、右端分别通过一个高度调整组件与反应腔外表面相连，并可以在高度调整组件的作用下调整上、下升降板的高度。本案主要从前驱体混合方式和收集液体方面来保证前驱体的成分、含量，并通过保证气流场稳定和控制温度场这两个个方面来控制反应区的反应环境，上述4个方面的技术手段相互配合，共同实现高质量制备薄膜，且本装置特别适合于制造氧化物薄膜。
一种雾化辅助 cvd 薄膜沉积装置

[实用新型]雾化辅助CVD薄膜沉积装置-CN201822192034.1有效
发明人：廖飞;杨专青;马五吉;冯倩;龚恒翔;郝跃;张进成 -专利权人：重庆理工大学;西安电子科技大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积装置，包括缓冲混合室、过渡腔和反应室，其中缓冲混合室顶部竖直设有多路气相物进管，该缓冲混合室外壁的左侧设有多路气溶胶进管；上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯；上升降板和下升降板的左、右端分别通过一个高度调整组件与反应腔外表面相连，并可以在高度调整组件的作用下调整上、下升降板的高度。本案主要从前驱体混合方式和收集液体方面来保证前驱体的成分、含量，并通过保证气流场稳定和控制温度场这两个个方面来控制反应区的反应环境，上述4个方面的技术手段相互配合，共同实现高质量制备薄膜，且本装置特别适合于制造氧化物薄膜。
缓冲混合薄膜沉积装置高度调整组件上升降板下升降板反应腔多路进管雾化本实用新型氧化物薄膜并排固定反应环境混合方式技术手段碘钨灯反应区反应室过渡腔气流场气溶胶气相物前驱体上板面温度场驱体竖直制备薄膜室外保证配合制造

[发明专利]一种镀膜设备及其镀膜方法-CN201611089968.1有效
发明人：蔡晓峰;席红安 -专利权人：佛山市中国科学院上海硅酸盐研究所陶瓷研发中心
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：一种镀膜设备，包括加热装置、制备装置、冷却装置、外壳、机架和输送机构；外壳的内部依次设有加热装置、制备装置和冷却装置；机架设置于外壳的底部；输送机构包括第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，第一输送机构设于加热装置的内部，第二输送机构设于制备装置的内部，第三输送机构设于冷却装置的内部；第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构依次相连，同步传动。本发明通过采用精细雾化喷嘴，并且喷嘴可任意分布，解决了现有技术中大面积镀膜不均匀、镀液利用率低等问题，设备整体通过输送机构联动，达到整体生产过程中的一体化，提高了生产效率。
一种镀膜设备及其方法

[发明专利]一种Co/Cu₂O纳米薄膜的制备方法-CN201810148525.8在审
发明人：丁红;钟福新;高云鹏;黎燕;莫德清 -专利权人：桂林理工大学
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种Co/Cu2O纳米薄膜的制备方法。将CoC4H6O4（摩尔比nCo：nCu=0.0%~3.0%）溶于Cu(Ac)2溶液中混合均匀并转入反应釜中，加入CTAB溶液、NaOH溶液和Zn粉混合均匀配制成反应溶液。将反应溶液置于高压反应釜中，插入规格为5.0 cm×1.5 cm×0.1 cm的ITO导电玻璃，在烘箱中反应，即在ITO导电玻璃上获得光电压值为0.0252~0.3583 V的Co/Cu2O纳米薄膜。本发明对原料及仪器要求不高、工艺简单、周期较短，产品的光电性能稳定较好。
纳米薄膜反应溶液制备烘箱高压反应釜光电性能仪器要求反应釜光电压摩尔比转入

[实用新型]工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置-CN201720877665.X有效
发明人：张情情;李敏;钱喆瑜;钟华良;朱家宽;刘杰鹏;高锦龙 -专利权人：旭科新能源股份有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备的加热系统；所述的反应设备主要由反应槽和置于反应槽上部的反应槽上盖组成，所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板安置在反应槽上部；所述加热系统包含若干数量的加热板、吹扫气体装置、阻挡条，其中加热板固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，以便均匀加热衬底和反应液；所述的吹扫气体装置设置在加热板周边，以便加热均匀；所述的阻挡条有多条并设置在反应槽内，该阻挡条可加快局部水流速度，同时可以对药液进行分层；它具有结构简单，使用方便、可靠，加热快，能提升能量转换效率，使小功率把被加热物加热到很高温度成为可能等特点。
工业化化学水浴沉积薄膜反应药液加热装置

[发明专利]一种工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置-CN201710591521.2在审
发明人：张情情;李敏;钱喆瑜;钟华良;朱家宽;刘杰鹏;高锦龙 -专利权人：旭科新能源股份有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：一种工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备的加热系统；所述的反应设备主要由反应槽和置于反应槽上部的反应槽上盖组成，所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板安置在反应槽上部；所述加热系统包含若干数量的加热板、吹扫气体装置、阻挡条，其中加热板固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，以便均匀加热衬底和反应液；所述的吹扫气体装置设置在加热板周边，以便加热均匀；所述的阻挡条有多条并设置在反应槽内，该阻挡条可加快局部水流速度，同时可以对药液进行分层；它具有结构简单，使用方便、可靠，加热快，能提升能量转换效率，使小功率把被加热物加热到很高温度成为可能等特点。
一种工业化化学水浴沉积薄膜反应药液加热装置

[发明专利]化学浴沉积系统和方法-CN201580031396.9有效
发明人： P·克洛弗;B·D·赫克特曼;G·彭;A·C·沃尔 -专利权人：纽升股份有限公司
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明公开用于在具有较少量颗粒的腹板上形成层的方法和系统。所述层由反应形成所述层的化学试剂的流体混合物或溶液形成。所述系统包括所提供的传送器装置，其被配置用于将所述腹板运送到腔室内，同时所述腹板的第一表面经历一或多个加工步骤；第一流体输送设备和第二流体输送设备；以及第一流体去除设备。所述第一流体去除设备被定位在布置于所述第一输送设备与所述第二输送设备之间的空间内。
化学沉积系统方法

[实用新型]一种超声波喷雾微波管式炉-CN201520078851.8有效
发明人：郭胜惠;周朝金;张利华;彭金辉;张利波;张声洲 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2015-02-04 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声波喷雾微波管式炉，属于喷雾热解法制备氧化物薄膜与粉末冶金领域。本实用新型所述超声波喷雾微波管式炉包括空气压缩泵、转子流量器、超声波喷雾器、超声波造雾振动盘、雾滴、石英玻璃导管、石英玻璃管、微波加热装置、微波发生器、石英玻璃片、辅助加热材料、保温材料、粉体缓冲沉降瓶、粉体、粉体收集瓶、第一级碱液吸收尾气装置、第二级碱液吸收尾气装置；本实用新型工艺过程操作简单，成本低廉，合理的利用物料，与传统法喷雾法在高温玻璃片寸底相比减少了物料的浪费。创造了通过超声波喷雾热解法与微波管式加热炉联合同时制备ITO薄膜与粉体的可能。
一种超声波喷雾微波管式炉

[发明专利]一种耐高温磷酸钙盐-磷灰石膜层的制备方法-CN201510524945.8在审
发明人：徐淑波;张国良;李振东;张晓东 -专利权人：山东建筑大学
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属表面处理领域，特别是适应于黑色金属进行热挤压，需要通过可溶性钙盐和可溶性磷酸盐溶液对黑色金属毛坯进行表面处理，获得一层能耐高温的磷酸钙盐-磷灰石膜层用于提高模具寿命。配制水溶性阳离子聚电解质和有机多元酸组成的双元聚电解质复合物的调控作用下，将黑色金属挤压毛坯放入可溶性酸，可溶性钙盐、可溶性磷酸盐混合溶液中进行合成，最终在黑色金属挤压毛坯表面附着一层厚度通常为0.01-0.015mm的磷酸钙盐-磷灰石膜层，主要成分为磷酸钙盐、含钙和磷的磷灰石晶体。
一种耐高温磷酸钙磷灰石制备方法

[发明专利]液态组合物、金属膜和导体配线以及金属膜的制造方法-CN201380015651.1无效
发明人：保田贵康 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：提供一种空隙少且导电性良好、而且与基材的密合性良好的金属膜。一种液态组合物，其含有：(a)混合物，其为(i)有机金属化合物与(ii)选自由脂肪族胺和脂肪族硫醇组成的组中的至少一种化合物的混合物，(i)与(ii)的含有摩尔比(ii)/(i)为0.9～1.2；(b)金属氧化物颗粒；和(c)溶剂。
液态组合金属膜导体以及制造方法

[发明专利]用于网型电极基底的边缘弯折夹具和方法、及用于网型电极基底的悬挂夹具和方法-CN201280019683.4有效
发明人：滨口克己;玉井章夫;国松阳;清水秀人 -专利权人：培尔梅烈克电极股份有限公司
申请日： 2012-04-19 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：为了提供用于网型电极的边缘弯折夹具，用于网型电极基底的边缘弯折方法，用于网型电极基底的悬挂夹具，和用于网型电极基底的悬挂方法，其不会局部地联结网型电极的电极基底，允许悬挂载荷分散，防止电极的内表面在烘烤处理中起皱，和将电极基底安装在具有良好加工性能的悬挂夹具上。一种弯折夹具和通过弯折顶端和底端进行的弯折方法，顶端和底端处凸面部分和凹面部分的外部表面被弯曲，以便相对于平板部分的前面和后面交替地形成之字构造；和悬挂夹具及用于网型电极基底的悬挂方法，其中电极基底通过电极保持构件悬挂而不会联结电极基底，且重量构件在电极基底的底端向下悬挂而不会联结电极基底。
用于电极基底边缘夹具方法悬挂

[发明专利]成膜装置-CN201180065147.3有效
发明人：织田容征;白幡孝洋;吉田章男 -专利权人：东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2011-03-15 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种成膜装置，该成膜装置能够维持均匀薄雾向用于实施成膜的基板的喷出，且防止薄雾喷射用喷嘴周边的结构的庞大化。而且，本发明具备用于产生成为成膜原料的薄雾的薄雾产生器(2)、及将由薄雾产生器产生的薄雾向进行膜的成膜的基板进行喷射的薄雾喷射用喷嘴(1)。薄雾喷射用喷嘴具备：具有空心部(1H)的主体部(1A)；供给薄雾的薄雾供给口(5a)；将薄雾喷射到外部的喷射口(8)；供给载气的载气供给口(6a)；及形成有多个孔(7a)的淋浴板(7)。在此，通过淋浴板的配置，空心部被分割为与载气供给口连接的第一空间(1S)及与喷射口连接的第二空间(1T)，薄雾供给口与第二空间连接。
装置

[发明专利]一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法-CN201110221261.2无效
发明人：熊信柏;曾燮榕;邹继兆;谢盛辉;钱海霞;黎晓华 -专利权人：深圳大学
申请日： 2011-08-03 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法，该装置包括感应电源，冷水机，可通不断冷却循环待沉积溶液，在感应圈内放置的沉积槽，放置在沉积槽内与样件相连的旋转杆，起密封作用且可穿过高速旋转杆的密封盖，以及与旋转杆相连的高速搅拌器。本发明使感应热沉积中的试样处于高速旋转中，将试样的旋转与感应热沉积过程融为一体，不仅保持了感应热沉积工艺非线性的优点，而且在不改变涂层或薄膜组成的情况下，可以大幅提高涂层或薄膜与基体的结合强度，达临界载荷45N以上。
一种旋转感应沉积制备涂层薄膜装置方法

[发明专利]镀膜装置-CN201010114932.0无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-02-26 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其包括一个高压釜及一个喷雾装置。该高压釜包括一个釜体及一个上盖，该釜体的内壁开设有至少一个用于承靠待镀膜基板的基板槽。该喷雾装置包括至少一个溶液腔、至少一个位于该喷雾装置外表面且连通到该溶液腔的喷口及设置于该溶液腔内的超声雾化装置。该喷雾装置固定于该上盖而收容于该高压釜内，且该喷口面向基板槽。由此，基板在基板槽内可接受喷雾装置所喷射出来的雾化溶液，进而进行喷雾热分解镀膜；之后，在高压釜中注入溶液，进而便可对基板进行水热法镀膜。整个过程中无需在不同设备间搬运基板，从而降低了基板粘附上杂质的几率，提高了镀膜的品质。
镀膜装置

[实用新型]有机电热膜自动镀膜设备-CN200920060571.9无效
发明人：陈天继 -专利权人：李九自
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： C23C18/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及电热膜镀膜设备技术领域，特别涉及有机电热膜自动镀膜设备；它包括加热炉和喷枪；加热炉设置有旋转装置，旋转装置包括设置在炉膛底部的定位盘，定位盘底端中心处固接有一垂直于定位盘的旋转轴，旋转轴由一设置在加热炉下方的马达驱动；定位盘上放置有夹持工件的夹具；进行镀膜操作时，仅需在喷涂镀膜液时需要打开炉门，而工件在炉膛内的转动由旋转装置控制完成，故而加热炉的炉门开关次数少，则炉膛内的热量损失小，镀膜液的热解成膜率高，故而产品合格率高，镀膜均匀，且加工效率高。
有机电热自动镀膜设备

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