[发明专利]改变数值孔径时操作多粒子束系统的方法、相关联的计算机程序产品及多粒子束系统在审
| 申请号： | 202080054443.2 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN114600221A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | H.弗里茨;I.米勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/09;H01J37/10;H01J37/12;H01J37/147;H01J37/28;H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种在不同操作点处操作多粒子束系统的方法。对于每个工作点，可以设定数值孔径，以使多粒子束系统的分辨率最佳。在此过程中，待扫描样品上相邻个体粒子束之间的束间距的边界条件保持恒定。出于改变数值孔径的目的，不会对系统做出机械变换。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 数值孔径 操作 粒子束 系统 方法 相关 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
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- 公开了一种用于在透射电子显微镜中获取电子能量损失谱(EELS)光谱的系统和方法。本发明的系统和方法通过将图像传感器的第一部分暴露于第一光谱同时在部分或全部暴露时间中将传感器的先前暴露部分从传感器中读出来最大化光谱采集速率和占空比。
- 专利分类
