[发明专利]衬底粘附和破损的减轻在审
| 申请号： | 202080050458.1 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114127342A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·贝尔克;约翰·弗洛伊德·奥斯特罗夫斯基;桑托斯·库马尔;翁恩康;罗伯特·拉什;伊恩·沃勒;劳伦斯·金格雷;布雷特·M·赫兹格 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D21/12;H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 粘附 破损 减轻 | ||
【主权项】：
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