[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示面板在审
| 申请号： | 202080000327.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113692650A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 薛大鹏;刘正;胡合合;王利忠;董水浪;姚念琦 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 潘平 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及显示技术领域，公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示面板，目的是改善薄膜晶体管的结构，提高薄膜晶体管的特性，提高显示产品良率。薄膜晶体管包括：衬底基板；有源层，位于所述衬底基板上；源漏电极，位于所述有源层背离所述衬底基板的一侧，包括电极层和保护层，所述电极层的材料包括第一金属元素；所述保护层覆盖所述电极层背离所述衬底基板的一侧表面以及所述电极层的侧面，所述保护层的材料为所述第一金属元素的氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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