[实用新型]一种磁性冷却空心管有效
| 申请号： | 202021413310.3 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN213388870U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;袁明;王锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 袁敏怡 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种磁性冷却空心管，其包括空心管和电磁线圈，所述空心管为真空弯管，电磁线圈绕设于真空弯管的外管壁，真空弯管设有冷却夹层空腔，冷却夹层空腔设有冷却液进口以及冷却液出口，电磁线圈的中心轴线、真空弯管的中心轴线和冷却夹层空腔的中心轴线共线设置。本实用新型的带电的靶材原子能够沿弯曲路径溅射到预设位置的工件的表面，沉积形成镀层，还能够对空心管实现快速降温，冷却效果好，保护真空弯管，延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 冷却 空心 | ||
【主权项】：
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