[实用新型]一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置有效
| 申请号： | 202021000770.3 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212247193U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 尹志军;许皓炜;崔国新;陈玉桃;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及光纤镀膜技术领域，公开了一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，包括：镀膜腔室、靶材组件及光纤组件；靶材组件包括靶材、固定在靶材顶端的第一齿轮盘及底端的第二齿轮盘；光纤组件包括第一传导齿轮、第二传导齿轮、用于夹持光纤的第一光纤夹具及第二光纤夹具；第一光纤夹具的第一主轴与第一传导齿轮之间通过第一皮带轮实现同步传动；第二光纤夹具的第二主轴与第二传导齿轮之间通过第二皮带轮实现同步传动；镀膜腔室的顶部及底部对称开设有弧形限位槽，第一主轴及第二主轴能够共同沿着弧形限位槽进行移动，以改变光纤与靶材的间距。使用上述公开的装置进行光纤镀膜时，可以事先调节靶材与光纤之间的距离，进而提高最终的镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁控溅射 光纤 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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