[实用新型]一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置

说明书

本申请涉及光纤镀膜技术领域，公开了一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，包括：镀膜腔室、靶材组件及光纤组件；靶材组件包括靶材、固定在靶材顶端的第一齿轮盘及底端的第二齿轮盘；光纤组件包括第一传导齿轮、第二传导齿轮、用于夹持光纤的第一光纤夹具及第二光纤夹具；第一光纤夹具的第一主轴与第一传导齿轮之间通过第一皮带轮实现同步传动；第二光纤夹具的第二主轴与第二传导齿轮之间通过第二皮带轮实现同步传动；镀膜腔室的顶部及底部对称开设有弧形限位槽，第一主轴及第二主轴能够共同沿着弧形限位槽进行移动，以改变光纤与靶材的间距。使用上述公开的装置进行光纤镀膜时，可以事先调节靶材与光纤之间的距离，进而提高最终的镀膜效果。

技术领域

本申请涉及光纤镀膜技术领域，尤其涉及一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置。

背景技术

磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程，其工作原理为利用磁场与电场的交互作用，使电子在靶材表面附近成螺旋状运行，撞击氩气产生离子，所产生的离子在电场作用下撞向靶面，使靶材发生溅射。

目前，常使用磁控溅射技术对光纤进行镀膜，将从靶材溅射出来的靶原子沉积到光纤表面，在光纤表面形成一层薄膜。为了实现均匀镀膜，一些光纤镀膜装置设置了两个相互啮合的齿轮，将靶材和光纤分别安装在齿轮上，在溅射的过程中通过电机控制靶材和光纤进行旋转，使得光纤表面最终能形成一层均匀的薄膜。

实际溅射过程中，靶材和光纤之间的距离将会对镀膜效果产生影响，因此若要提高镀膜效果，需在溅射之前将靶材与光纤的间距调节至最佳。但是目前的光纤镀膜装置中，靶材与光纤被分别固定在两个相互啮合的齿轮上，它们之间的距离是不可调的，这种情况下，将影响最终的镀膜效果。

实用新型内容

为了解决目前的光纤镀膜装置中，由于靶材与光纤被分别固定在两个相互啮合的齿轮上，它们之间的距离是不可调的，从而影响最终镀膜效果的技术问题，本申请通过以下实施例公开了一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置。

本申请第一方面公开了一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，包括：镀膜腔室、位于所述镀膜腔室内部的靶材组件及光纤组件；

所述靶材组件包括靶材、固定在所述靶材顶端的第一齿轮盘以及固定在所述靶材底端的第二齿轮盘，其中，所述第一齿轮盘通过传动轴与位于所述镀膜腔室外部的电机相连；

所述光纤组件包括与所述第一齿轮盘相互啮合的第一传导齿轮、与所述第二齿轮盘相互啮合的第二传导齿轮、分别用于夹持光纤上下两端的第一光纤夹具及第二光纤夹具；

所述第一光纤夹具包括第一主轴，所述第二光纤夹具包括第二主轴，所述第一主轴的轴线与所述第二主轴的轴线相重合；

所述第一传导齿轮的齿轮轴与所述第一主轴之间通过第一皮带轮实现同步传动；

所述第二传导齿轮的齿轮轴与所述第二主轴之间通过第二皮带轮实现同步传动；

所述镀膜腔室的顶部及底部对称开设有弧形限位槽；

所述第一主轴穿过顶部的弧形限位槽，所述第二主轴穿过底部的弧形限位槽，所述第一主轴及所述第二主轴能够共同沿着所述弧形限位槽进行移动，以改变所述光纤与所述靶材的间距。

可选的，所述装置还包括位于所述镀膜腔室外部的调距组件；

所述调距组件包括连接柄、连接轴及调距电机，所述连接柄的一端与所述连接轴的一端固定连接，所述连接柄与所述连接轴相互垂直，所述连接轴的另一端通过第三皮带轮与所述调距电机的机轴实现同步传动；

所述镀膜腔室的顶部及底部均设置有所述调距组件；

所述第一主轴穿出所述镀膜腔室顶部的一端与顶部的连接柄的另一端固定连接，所述第二主轴穿出所述镀膜腔室底部的一端与底部的连接柄的另一端固定连接，所述第一主轴、所述第二主轴均与所述连接柄相互垂直。