[实用新型]一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置

权利要求书

1.一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔室(1)、位于所述镀膜腔室(1)内部的靶材组件(11)及光纤组件(12)；

所述靶材组件(11)包括靶材(111)、固定在所述靶材(111)顶端的第一齿轮盘(112)以及固定在所述靶材(111)底端的第二齿轮盘(113)，其中，所述第一齿轮盘(112)通过传动轴与位于所述镀膜腔室(1)外部的电机(2)相连；

所述光纤组件(12)包括与所述第一齿轮盘(112)相互啮合的第一传导齿轮(121)、与所述第二齿轮盘(113)相互啮合的第二传导齿轮(122)、分别用于夹持光纤上下两端的第一光纤夹具(123)及第二光纤夹具(124)；

所述第一光纤夹具(123)包括第一主轴(1231)，所述第二光纤夹具(124)包括第二主轴(1241)，所述第一主轴(1231)的轴线与所述第二主轴(1241)的轴线相重合；

所述第一传导齿轮(121)的齿轮轴与所述第一主轴(1231)之间通过第一皮带轮(125)实现同步传动；

所述第二传导齿轮(122)的齿轮轴与所述第二主轴(1241)之间通过第二皮带轮(126)实现同步传动；

所述镀膜腔室(1)的顶部及底部对称开设有弧形限位槽(101)；

所述第一主轴(1231)穿过顶部的弧形限位槽(101)，所述第二主轴(1241)穿过底部的弧形限位槽(101)，所述第一主轴(1231)及所述第二主轴(1241)能够共同沿着所述弧形限位槽(101)进行移动，以改变所述光纤与所述靶材(111)的间距。

2.根据权利要求1所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述装置还包括位于所述镀膜腔室(1)外部的调距组件(13)；

所述调距组件(13)包括连接柄(131)、连接轴(132)及调距电机(133)，所述连接柄(131)的一端与所述连接轴(132)的一端固定连接，所述连接柄(131)与所述连接轴(132)相互垂直，所述连接轴(132)的另一端通过第三皮带轮(134)与所述调距电机(133)的机轴实现同步传动；

所述镀膜腔室(1)的顶部及底部均设置有所述调距组件(13)；

所述第一主轴(1231)穿出所述镀膜腔室(1)顶部的一端与顶部的连接柄(131)的另一端固定连接，所述第二主轴(1241)穿出所述镀膜腔室(1)底部的一端与底部的连接柄(131)的另一端固定连接，所述第一主轴(1231)、所述第二主轴(1241)均与所述连接柄(131)相互垂直。

3.根据权利要求2所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述装置还包括工控机；

所述工控机用于根据预设的最佳间距值，控制所述调距电机进行旋转，以调节所述光纤与所述靶材之间的间距。

4.根据权利要求1或2所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述第一主轴(1231)及所述第二主轴(1241)分别通过第一滚珠轴承(127)安装在所述弧形限位槽(101)中。

5.根据权利要求4所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述第一滚珠轴承(127)上设置有旋钮(1271)，所述旋钮(1271)在调松的状态下，所述第一主轴(1231)及所述第二主轴(1241)能够上下移动，以适应所述光纤的长度。

6.根据权利要求1所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述第一主轴(1231)与所述第二主轴(1241)相对的一端皆通过螺纹连接有夹持部(120)；

所述夹持部(120)包括相互配合以夹持所述光纤的第一夹块(1201)及第二夹块(1202)。

7.根据权利要求1所述的一种基于磁控溅射的光纤镀膜装置，其特征在于，所述镀膜腔室(1)的顶部及底部对称开设有限位孔(102)；

所述第一传导齿轮(121)的齿轮轴安装在顶部的限位孔(102)中，所述第二传导齿轮(122)的齿轮轴安装在底部的限位孔(102)中。