[发明专利]控制单晶硅尾部长度的方法及单晶炉收尾方法有效
| 申请号： | 202011553132.9 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112725883B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： |
本发明提供一种控制单晶硅尾部长度的方法及单晶硅收尾方法，属于单晶硅生产技术领域。读取实时收尾长度L |
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| 搜索关键词： | 控制 单晶硅 尾部 长度 方法 单晶炉 收尾 | ||
【主权项】：
暂无信息
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