[发明专利]一种高压漂移阶跃恢复器件性能提升方法有效
| 申请号： | 202011367672.8 | 申请日： | 2020-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112563320B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 陈允峰;李士颜;黄润华;柏松 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L27/02;H01L29/861 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高压漂移阶跃恢复器件性能提升方法，优化器件结构参数，提升器件漂移阶跃恢复工作性能。本发明通过采用渐变掺杂的结构设计，形成特定器件外延结构，并优化相应的器件加工方案，使得器件工作时的脉冲前沿、工作响应速度等性能获得提升，而耐压值、脉冲电流值等原有性能不变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 漂移 阶跃 恢复 器件 性能 提升 方法 | ||
【主权项】：
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